国产水电镀设备出口日本TDK，复合集流体设备全球格局正呈现国产设备从“进口替代”走向“全球领先” 的新特征：磁控溅射设备已完成进口替代，腾胜科技的二代机已出口日本TDK；而复合铜箔水电镀设备目前全球仅东威科技一家能够量产供应，无海外竞争者。

磁控溅射设备：从进口为主到国产主导

复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外公司。进口设备造价普遍昂贵，约为国产设备的3倍，且生产周期长、后续维护难度大。随着产业发展，国产设备凭借高性价比逐渐切入并完成进口替代，目前行业新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。

国内磁控溅射设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等，各厂家技术差距较大。其中腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。该公司拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机已出口至日本TDK，客户还包括宝明科技、万顺新材等，产品已实现批量出货。

水电镀设备：东威科技全球唯一量产

复合铜箔用水电镀设备采用水平电镀工艺，与传统PCB垂直电镀设备差异很大，基本上相当于一种全新设备。目前，能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技一家，其凭借在PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔容易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。

东威科技的水平水电镀设备主要有滚筒卷式水平电镀设备和双边夹卷式水平电镀设备两种，其中双边夹式设备良率可达90%以上，已获得批量订单。此外，东威科技还引入了新的技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

常见问题

国产磁控溅射设备凭什么替代进口？

核心在于性价比。进口设备造价约为国产设备的3倍，且生产周期长、维护难。国产设备在性能达标的同时价格优势明显，叠加腾胜科技等龙头厂商二十多年的技术沉淀，行业新增产能已基本转向采购国产设备。

东威科技在水电镀设备领域有没有竞争对手？

在复合铜箔水电镀设备这一细分领域，目前能够供应量产设备的厂商只有东威科技一家，全球范围内尚无海外竞争者形成量产能力，这也是国产设备在复合集流体领域实现全球领先的典型代表。

除两步法设备外，还有哪些技术路线在推进？

三孚新科推出了化学沉积一步法，已完成相关试剂和设备布局并获得客户订单；道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机。不过这些路线成熟度尚不高，目前只有少量设备出货。