电子气体曾是半导体材料国产化的短板,进口依赖度较高。目前,以华特气体和金宏气体为代表的国产企业,正通过差异化竞争在多个细分品种上实现突破,显著提升了电子气体的国产替代率,成为推动半导体产业链自主可控的关键力量。华特气体以规模化供应20多种产品见长,覆盖光刻、刻蚀、掺杂等多个关键工艺环节;金宏气体则在超纯氨等单品上达到极高纯度,打破海外垄断。两家企业路径互补,共同加速了国产替代进程。
差异化突破:从“多点开花”到“单品制胜”
电子气体细分品类超过100种,市场高度分散,这为国产企业提供了差异化竞争的空间。华特气体走的是“平台型”路线,从高纯六氟乙烷入手,现已能够规模化供应20多种产品,其中部分产品的纯度和品质已达到国际先进水平,并获得了阿斯麦、海力士等海外大厂的认证。金宏气体则选择“单品制胜”策略,其超纯氨纯度达99.999998%(6N以上),在高端应用领域实现进口替代。这种“多品种覆盖”与“高纯度突破”并行的路径,有效提升了国产气体在半导体制造中的渗透率。
提升国产化率:从代工到认证的跨越
尽管国内电子特气市场蓬勃发展,但国产化率仍不足15%,且多数企业因缺乏终端客户认证而只能为国际大厂代工。华特气体等头部企业率先打破这一局面:华特气体在2017年自主研发的4种光刻混合气通过阿斯麦认证,此后锗烷产品也获得海力士、英飞凌认证,更多产品得到中芯国际、合肥长鑫等国内晶圆厂认可。这标志着国产电子气体已从“代工贴牌”迈入“自主认证”阶段,直接进入全球半导体供应链。
常见问题
电子气体国产替代的难点在哪里?
主要在于两大技术瓶颈:一是气体提纯,需要达到5N(99.999%)甚至6N(99.9999%)以上的纯度;二是混合气体的精确配比,微小的误差就会影响光刻等关键工艺的精度。此外,获得下游晶圆厂和设备商的长期认证也是重要壁垒。
华特气体和金宏气体在国产替代中的角色有何不同?
华特气体是**“多面手”,规模化供应20多种电子特气,覆盖光刻、刻蚀、掺杂等多个环节,提升了国产气体的整体覆盖率。金宏气体是“单点突破者”**,其超纯氨纯度达99.999998%,在高端单品上打破海外垄断,实现了核心材料的自主可控。
当前电子特气的国产化率如何?未来提升空间大吗?
目前国产化率还不到15%,仍有较大提升空间。随着华特气体、金宏气体等企业获得更多国际认证,以及国内晶圆厂扩产带来的需求增长,国产电子气体有望在未来持续扩大市场份额,进一步降低对进口的依赖。