全球电子特气市场由空气化工、液化空气、大阳日酸、林德等国际大厂主导,中国市场同样呈现这一格局;中国半导体材料企业已在多个电子特气细分单品上实现突破,但多数仍以代工贴牌方式参与供应链,真正通过终端客户认证的厂商很少。整体看,中国处于"细分单品突围、整体认证受限"的位置。

全球与中国市场格局

从全球看,四家国际大厂占据绝大部分份额;在中国市场,它们同样占据主导。两组数据口径不同,但结论一致。

企业全球份额中国市场份额
美国空气化工25%25%
法国液化空气25%23%
日本大阳日酸23%17%
德国林德集团18%23%
其他9%12%

(资料来源:华经产业研究院,东方财富证券研究所)国际大厂在半导体领域深耕数十年,在与终端客户协同试错中建立了合作关系,终端客户更信任其管控体系。

中国企业的位置:单品突破,认证受限

国内电子特气国产化率还不到15%,是薄弱环节。但在政策支持与成本优势下,国产特气蓬勃发展,多家公司在不同单品上实现突破,呈差异化竞争态势。

  • 华特气体从高纯六氟乙烷入手,现已能规模化供应20多种产品,部分产品纯度和品质达到国际先进水平;其自主研发的4种光刻混合气已通过阿斯麦认证,锗烷产品通过海力士及英飞凌认证,另有产品获得中芯国际、合肥长鑫等国内晶圆厂认证。
  • 金宏气体、派瑞特气、南大光电、昊华科技、雅克科技、凯美特气、和远气体、巨化股份等,也在刻蚀、沉积、离子注入、稀有气体等不同品类中布局。

但国内大部分气体公司属于追随者,创新能力相对不足,又难以稳定供应高品质产品,终端晶圆厂或设备商一般不愿直接使用。结果就是多数企业只能给国际大厂做代工:大厂从国内厂商采购部分气体产品后,再贴牌销售给下游客户。 例如凯美特气生产的混合气体已能满足阿斯麦光刻机需求,但因缺少认证,暂时只能通过林德和法液空销售。

常见问题

中国电子特气企业为什么难以直接进入终端供应链?

核心卡点是认证。终端晶圆厂和设备商对气体纯度、稳定性要求极高,且更信任国际大厂长期积累的管控体系,获得认证的国产厂商很少。因此国内企业即便产品达标,也往往需借道国际大厂贴牌销售。

如何判断一家国产电子特气公司的实力?

认证情况是重要筛选标准。已获得认证、尤其是通过海外终端厂商认证的气体公司,通常意味着产品品质更优。例如华特气体的光刻混合气通过阿斯麦认证、锗烷通过海力士及英飞凌认证,这类进展可作为观察国产替代进程的参考。

电子特气的技术难点在哪里?

一是气体提纯,需组合运用精馏分离、分子筛吸附分离、膜分离等方法,工艺复杂、研发壁垒高;二是混合气体的精确配比,配比精度偏差会直接影响光刻机分辨率等核心指标。进入纳米时代后,气体纯度至少需达5N,先进制程更要求6N以上。