刻蚀设备国产化率约20%，国产龙头中微公司、北方华创正加速追赶，全球格局由Lam Research、东京电子、应用材料主导，竞争焦点集中在先进制程突破与本土替代进程。
全球格局：三强主导，国产渗透空间大
全球刻蚀设备市场长期由美日欧企业主导，技术壁垒极高，市场份额高度集中。其中，Lam Research、东京电子和应用材料是三大核心玩家。相比之下，刻蚀设备国产化率仅20%左右，国内主要厂家包括中微公司、北方华创和屹唐股份。这一巨大的国产替代缺口，为国内企业提供了明确的成长空间。
中微公司：5nm制程突破，进入台积电供应链
中微公司的CCP刻蚀机已覆盖到最先进的5nm制程，并成功进入台积电的供应链。官方资料指出，其部分产品已经不逊色于国际一流厂商。这一技术节点的突破，使中微公司成为国内刻蚀领域最具竞争力的龙头之一，也体现了技术迭代放缓为国产设备追赶提供的窗口期。
北方华创：多品类布局，订单增长迅速
北方华创在刻蚀设备之外，还覆盖PVD、清洗等多个品类。其刻蚀机、PVD等设备在2020年投入市场后，受到了下游晶圆厂的积极反馈，订单增长非常快。在大基金等政策支持下，国内晶圆厂对国产设备的接受度明显提升，北方华创正借此加速份额扩张。
常见问题
刻蚀设备国产化率具体是多少？
官方数据显示，刻蚀设备国产化率约20%，主要国内厂家包括中微公司、北方华创和屹唐股份。
中微公司的刻蚀设备已进入哪个制程？
中微公司的CCP刻蚀机已覆盖到最先进的5nm制程，并已进入台积电的供应链体系。
北方华创在刻蚀领域的主要竞争对手是谁？
在国内，北方华创的主要竞争对手包括中微公司和屹唐股份；在全球市场，则面临Lam Research、东京电子和应用材料等国际巨头的竞争。