从g线到EUV光刻胶都离不开，成膜树脂在下游应用中的需求结构如何？

成膜树脂是光刻胶中价值量最高的核心原材料，其需求结构随光刻胶品类分化而显著不同：KrF（K胶）与ArF（A胶）光刻胶是当前最主要的两大类应用方向，分别对应3D堆叠架构与先进制程工艺，而g/i线、EUV等品类的树脂需求则相对有限。 从市场规模看，KrF光刻胶市场规模从2020年的612百万美元增至2025年预计的907百万美元，ArF光刻胶则从74百万美元增至884百万美元，两大品类的扩张直接拉动对应成膜树脂的需求增长。

成膜树脂在光刻胶中的核心地位

成膜树脂是光刻胶四大原材料（溶剂、光引发剂、成膜树脂、添加剂）之一，含量占比为10%-40%。尽管溶剂在含量上占比最高（50%-90%），但从价值量看，成膜树脂是最核心的原材料，约占总材料成本的50%，其次是占比35%的单体。部分高端光刻胶的树脂占比更高，例如ArF光刻胶的树脂价值量占比能达到97%以上。

树脂作为一种惰性聚合物基质，主要决定曝光后光刻胶的基本性能。其结构设计涉及单体的种类和比例，直接决定光刻胶能够形成的线宽，进而影响整个光刻工艺的曝光能量和边缘粗糙度等参数。

不同光刻胶品类的树脂需求差异

光刻胶体系与曝光光线相匹配，分为g线、i线、KrF、干法ArF、浸没式ArF、EUV六大类。不同品类对树脂的性能要求差异明显：

从应用角度看，KrF光刻胶主要用在3D堆叠架构中，ArF光刻胶主要用在相对先进的制程工艺中，因此这两类是最主要的光刻胶品类，对应的成膜树脂需求也最为旺盛。g/i线光刻胶的市场占比呈逐年下降趋势（从15%降至10%），EUV光刻胶占比则维持在1%左右，对应的树脂需求相对小众但技术门槛更高。

成膜树脂的产业化难点

成膜树脂的产业化面临两大挑战：合成技术与单体供应。合成技术方面，目前最常用的是自由基聚合，其优点是容易控制分子量、容易产业化，但分散度难以控制到很小，无法达到部分光刻性能要求；阴离子聚合可以更好地控制分散度，实现更精细的光刻效果，但工业化条件苛刻，仅少数公司产业化成熟。

单体供应方面，作为成膜树脂的核心原料，单体的性能直接影响光刻胶质量，纯度要求达到99.5%，金属离子含量需小于10亿分之一。目前能够稳定供应高质量单体的供应商仅有四五家，单体供应与质量的双重稳定性是产业化的重要瓶颈。

常见问题

成膜树脂在光刻胶成本中占比多少？

成膜树脂约占总材料成本的50%，是价值量最大的原材料。在高端光刻胶中占比更高，例如ArF光刻胶的树脂价值量占比能达到97%以上。

KrF和ArF光刻胶的树脂需求差异是什么？

KrF光刻胶主要用于3D堆叠架构，ArF光刻胶用于先进制程工艺。两者的树脂在分子量控制、分散度等性能要求上存在差异，ArF树脂对合成技术的要求更高，产业化难度也更大。

成膜树脂国产化进展如何？

目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断，即使是低端的g线环化橡胶树脂和i线线性酚醛树脂，国内也主要依赖进口，高端ArF树脂更是难以采购。国内已有彤程新材、圣泉集团等多家企业布局树脂领域，但整体国产化水平仍然较低。