成膜树脂的国产化进程,经历了从G线、I线时代的长期依赖进口,到ArF时代**“想买都买不到”的被动局面,再到以徐州博康为代表的国内厂商从单体环节切入、逐步向上游树脂突破**的关键拐点。这一过程中,成膜树脂作为光刻胶中价值量最大的原材料,其自主可控已成为整个半导体材料产业链绕不开的核心命题。
从“依赖进口”到“买不到”的被动局面
在光刻胶的原材料体系中,成膜树脂是决定光刻胶基本性能的核心成分,价值量占比约为总材料成本的50%。然而在相当长的时间里,即便是技术门槛相对较低的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂,国内也主要依赖进口,国产化水平很低。到了更高端的ArF光刻胶领域,情况更为严峻——ArF树脂被海外厂商完全垄断,国内企业面临的是“想买都买不到”的供应困境。
这种被动的局面,根源在于成膜树脂产业化的两大难点:一是合成技术,目前最常用的自由基聚合虽易产业化,但在分散度控制上存在局限,而能实现更优光刻效果的阴离子聚合,工业化条件苛刻,仅有信越化学、JSR等少数公司掌握;二是单体的稳定供应,单体纯度等性能要求极高,全球能实现稳定供应的供应商仅四五家。
从单体突破到打通全链条
面对海外垄断格局,国内厂商选择了一条务实的突围路径——从单体开发起步,逐步向上游延伸。以徐州博康为例,这家公司最初从事化学定制合成,是几家日本光刻胶头部企业的中国合作商,主要提供原料单体的开发服务。经过多年积累,博康已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体,其中ArF单体覆盖了80%以上的品种,部分单体甚至是独家产品。在外销方面,除信越化学外,其他头部光刻胶厂商均为其客户;在自用方面,公司也打通了除单体以外的其他原材料,实现了光刻胶原材料的自主可控。
常见问题
成膜树脂为什么是光刻胶最核心的原材料?
成膜树脂在光刻胶原材料中价值量占比最高,约占总材料成本的50%,ArF光刻胶的树脂价值量占比甚至更高。它作为惰性聚合物基质,主要决定曝光后光刻胶的基本性能,树脂结构的设计直接影响到光刻胶能够形成的线宽及光刻工艺的曝光能量、边缘粗糙度等关键参数。
国内厂商为什么选择从单体环节切入?
单体的性能直接影响成膜树脂的质量,而全球能实现稳定供应的单体供应商只有四五家,是产业化的核心瓶颈之一。国内厂商从单体开发起步,既能发挥化学合成的技术积累,又能通过服务海外头部光刻胶企业积累Know-how经验,再逐步向树脂等更上游环节延伸。
国产成膜树脂目前处于什么阶段?
以徐州博康为代表的国内厂商已在ArF单体领域实现重大突破,覆盖80%以上的品种,并打通了全部光刻胶原材料。在成膜树脂领域,国内已有彤程新材、圣泉集团等多家公司布局,但整体仍处于从单体向上游树脂突破的进程中,高端树脂的国产化替代仍需持续积累。