在复合集流体设备领域，中国厂商已处于全球供给的主导位置。磁控溅射设备方面，国产产品凭借性价比基本完成了进口替代，行业内新增产能基本都会采购国产设备；水电镀设备因采用全新的水平电镀工艺，目前全球能够供应的厂商主要就是东威科技。 此外，腾胜科技二代机曾出口日本TDK，表明国产复合集流体设备已具备一定的外溢能力。

磁控溅射设备：从进口为主到国产替代

磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域工艺变动不大，其他领域的设备稍加改动即可使用。产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外公司，其技术水平领先，设备调试好后运行比较稳定。

但进口设备造价普遍非常昂贵，约为国产设备的3倍，生产周期也长，后续维护比较难。随着产业发展，国产设备逐渐切入并基本完成进口替代，从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受设备制造工艺难度影响，各厂家之间技术差距很大。腾胜科技在该领域钻研二十多年，是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队，占据了半壁江山。

水电镀设备：全新工艺下的供给格局

复合铜箔使用的水电镀设备与传统PCB电镀设备差异很大——传统工艺一般是垂直电镀，复合铜箔用的却是水平电镀，且基材厚度降低、幅宽增加，工艺改进难度更高，基本相当于一种全新的设备。

目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。针对复合铜箔基材更薄、容易变形的问题，东威科技发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔容易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。其双边夹卷式水平电镀设备采用非接触基膜方式，良率可达90%以上，已获得批量订单。除水电镀设备外，东威科技还引入新技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

常见问题

复合集流体设备领域，中国厂商与海外巨头的主要差异是什么？

海外企业在磁控溅射设备领域技术水平领先、运行稳定，但造价普遍非常昂贵，约为国产设备的3倍，生产周期也长，后续维护比较难。国产设备则以性价比切入，逐步完成进口替代，目前行业内新增产能基本采购国产设备。

为什么水电镀设备全球供给主要集中在中国？

复合铜箔水电镀设备从PCB电镀迁移而来，但基材更薄、幅宽增加，且由垂直电镀改为水平电镀，工艺变动很大，基本相当于全新设备。目前能够供应这类设备的厂商只有东威科技，因此全球供给主要集中在中国。

国产复合集流体设备是否已有出口能力？

有。腾胜科技2021年推出的二代机曾出口到日本TDK，其产品客户还包括宝明科技、万顺新材等，说明国产复合集流体设备已具备一定的外溢能力。