复合集流体磁控溅射设备的国产替代已基本完成。产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外公司，但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长、后续维护难。随着复合集流体产业推进，国产设备凭借性价比切入并逐步完成替代，从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

国产替代是如何发生的

磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可使用。这为国产厂商切入提供了技术基础。

早期海外企业技术水平领先，设备调试好后运行较稳定，因此占据主导。但进口设备造价高、交付周期长、维护不便，下游扩产时成本与响应速度压力明显。国产设备由此获得验证与批量导入的机会，并逐步在新增产能中取代进口。

国内竞争格局与代表厂商

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受设备制造工艺难度影响，各厂家之间技术差距较大。

腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年，技术沉淀深厚，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队，占据了半壁江山。公司自2016年起布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机，产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

此外，东威科技在供应复合铜箔水电镀设备的同时，也引入新技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务，其首台磁控溅射设备已出货。

常见问题

进口磁控溅射设备为什么维护难、造价高？

进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期也长，后续维护比较难。海外企业技术起步早、设备运行较稳定，但下游厂商在扩产时面临成本与交付节奏的双重压力。

国产磁控溅射设备的替代进展如何？

国产替代已基本完成。从最近的调研来看，行业内新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。国产厂商主要集中在广东、安徽地区，其中腾胜科技处于第一梯队，占据国内磁控溅射市场半壁江山。

复合集流体设备还有哪些国产厂商在布局？

水电镀设备方面，目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技，其双边夹卷式水平电镀设备已获批量订单。其他工艺路线上，三孚新科的化学镀铜设备已获订单，道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机。