复合集流体磁控溅射设备的国产化，主要经历了三个拐点：早期工艺从光学、电子工业迁移，海外设备调试稳定、进口主导；随后进口设备造价约为国产3倍、生产周期长且维护困难，成为国产替代的核心驱动力；国产设备切入后逐步完成替换，从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。 目前国内厂商主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等，但受设备制造工艺难度影响，各厂家之间技术差距较大。

拐点一：成熟工艺迁移，进口设备先行主导

磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可使用。海外企业技术水平领先，设备调试好之后运行比较稳定，因此在复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司。

拐点二：成本与维护压力，倒逼国产切入

进口设备的造价普遍非常昂贵，约为国产设备的3倍，生产周期也长，后续维护比较难。这三重压力构成了国产替代的直接动因。随着复合集流体产业发展，国产设备逐渐切入并逐步完成进口替代。从最近的调研来看，行业内新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。

拐点三：格局分化，技术沉淀决定梯队

国产替代完成后，竞争格局呈现明显分层。腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年，技术沉淀深厚，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山；其他厂商起步较晚，与腾胜科技存在一定差距，技术上还需磨练。腾胜科技自2016年起布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK，目前主力机型为2代机和2.5代机，产品已实现批量出货。此外，东威科技也引入新技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

常见问题

复合集流体磁控溅射设备为什么能从进口转向国产？

核心驱动是成本与维护。进口设备造价约为国产设备的3倍，生产周期长、后续维护难；而磁控溅射工艺从光学、电子工业迁移过来变动不大，国产设备具备切入的技术基础，因而逐步完成替代。

目前国产磁控溅射设备市场格局如何？

国内厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家技术差距很大，腾胜科技凭借二十多年的技术沉淀处于第一梯队，占据半壁江山，其余厂商起步较晚，技术上仍需磨练。

新增产能现在还会采购进口磁控溅射设备吗？

从最近的调研来看，行业内新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备，进口替代已基本完成。后续各厂商技术沉淀的差异，可能成为格局进一步分化的关键变量。