进口磁控溅射设备造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、后续维护困难,这一成本与效率差距正是国产替代加速的核心驱动力。腾胜科技作为国产磁控溅射设备龙头,凭借二十余年真空镀膜技术沉淀,已基本完成该领域的进口替代,行业内新增产能几乎全部转向采购国产设备,复合集流体核心装备的自主可控由此显著提速。
国产设备为何能替代进口?
进口磁控溅射设备(如应用材料、爱发科等海外品牌)在复合集流体产业发展初期占据主导,其优势在于设备调试后运行稳定。然而,其造价普遍为国产设备的3倍左右,加之生产周期长、后续维护困难,为国产设备切入提供了契机。随着复合集流体产业发展,国产设备凭借高性价比和快速响应能力逐渐完成进口替代。从近期行业调研情况来看,新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。
在竞争格局上,国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括腾胜科技、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距较大。其中,腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,公司专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一,处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。
腾胜科技如何领跑自主替代?
腾胜科技拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀,主要提供大型磁控溅射设备。公司自2016年起布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK,标志着国产设备获得国际头部客户认可。目前公司主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。
从产品迭代看,2代机向2.5代机的升级主要体现在生产速度与产能提升:两者膜厚均为30nm、电阻均为2.5Ω,但2.5代机速度由13m/min提升至20m/min,单机年产能由560万方提升至1100万方。产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。随着下游复合铜箔大规模扩产,公司正加紧扩张产能以满足激增的设备需求。
常见问题
国产磁控溅射设备与进口设备差距有多大?
进口设备造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、维护困难。国产设备在满足复合铜箔镀膜工艺要求的同时,凭借显著的成本优势和更快的交付响应,已推动行业新增产能基本转向国产采购。具体性能差异需以实际产线验证数据为准。
腾胜科技的设备性能处于什么水平?
腾胜科技主力2.5代机生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍,单机年产能1100万方。公司产品已批量出货至日本TDK、宝明科技、万顺新材等国内外客户,其专家还牵头制定了广东省真空卷绕镀膜设备行业标准,技术实力处于国产第一梯队。
复合集流体设备的国产替代是否已完成?
磁控溅射设备领域,国产替代已基本完成,行业内新增产能几乎全部采购国产设备。但水电镀设备目前主要由东威科技供应,而靶材、电源等核心零部件的自主化仍有进一步拓展空间,产业链各环节的国产化程度并不完全一致。