ArF光刻胶中成膜树脂的价值量占比超过97%,这一超高价值密度使其成为决定光刻胶成本与性能的核心环节。在先进制程扩产与国产替代的双重驱动下,ArF树脂的需求拐点已现,但供给端的产能爬坡与海外垄断格局决定了供需紧张的窗口期仍将持续,具体放量节奏需跟踪国内晶圆厂验证进度与国产树脂产能落地情况。
为什么ArF树脂是价值量最高的环节
成膜树脂在光刻胶原料中价值量占比约50%,而在ArF光刻胶中,树脂的价值量占比可达97%以上。树脂作为光刻胶的“骨架”,直接决定曝光后光刻胶的基本性能,包括可形成的线宽、曝光能量和边缘粗糙度等关键参数。
当前ArF树脂几乎全部由海外厂商垄断,高端ArF树脂甚至“想买都买不到”。国产化水平低的原因在于两大壁垒:一是合成技术需要长期Know-how积累,尤其是能控制分散度(PDI)的阴离子聚合工艺,工业化条件苛刻;二是单体供应高度集中,全球能稳定供应高纯度单体的厂商仅四五家,单体的纯度要求达99.5%以上,金属离子含量需控制在极低水平。
供需错配的节奏分析
需求端:ArF光刻胶主要应用于先进制程工艺(干法ArF对应65-130nm制程,浸没式ArF对应45-10nm制程),国内晶圆厂在逻辑与存储领域的先进制程扩产,直接拉动ArF光刻胶及上游树脂的需求。以徐州博康、晶瑞电材为代表的国产厂商在KrF和ArF光刻胶领域已实现从零到1的突破,即将进入从1到N的放量阶段。
供给端:海外树脂厂商扩产谨慎,而国内树脂产能尚在爬坡期。以ArF单体为例,徐州博康已覆盖80%以上的ArF单体品种(共200多种),部分单体为独家产品,且已打通除单体以外的其他原材料,实现自主可控。但树脂的产业化验证周期较长,从单体供应到树脂合成再到光刻胶配方验证,需要经历严格的客户导入流程。
常见问题
ArF树脂供需拐点何时到来?
供需拐点取决于国内晶圆厂ArF光刻胶的验证与放量节奏,以及国产树脂产能的爬坡速度。当前需求端已现增长趋势,但供给端的产能释放仍需时间,供需紧张窗口期预计将延续至国产树脂通过客户验证并实现规模化量产之后。
国产ArF树脂的主要壁垒是什么?
主要壁垒在于合成技术的Know-how积累和单体的稳定供应。合成技术中,能实现更优光刻效果的阴离子聚合工艺工业化条件苛刻,目前仅少数海外公司产业化成熟;单体供应方面,全球合格供应商仅四五家,且对纯度和金属离子含量要求极高,新进入者需要较长的工艺积累周期。
哪些公司在ArF树脂产业链有布局?
国内已有多家公司布局光刻胶原材料。在树脂领域,彤程新材、圣泉集团等均有布局;在单体领域,徐州博康被市场认为是做得最好的企业,拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体,除信越化学外,其他头部光刻胶厂商均为其客户。