成膜树脂约占光刻胶总材料成本的50%，是价值量最大的原材料，但国产化水平很低，高端ArF树脂甚至“想买都买不到”。 正因如此，国家层面的半导体材料扶持政策正聚焦这一“卡脖子”环节，通过大基金投资、进口替代鼓励目录与税收优惠等多重工具，引导资本进入树脂合成与单体供应环节，推动以彤程新材、徐州博康为代表的国内企业加速突破。

为什么成膜树脂是光刻胶国产化的关键

光刻胶由溶剂、光引发剂、成膜树脂和添加剂四类原材料构成。虽然溶剂在含量上占比最高（50%-90%），但从价值量看，成膜树脂才是核心，约占总材料成本的50%，其次是占比约35%的单体。部分高端品类中树脂价值量占比更高，例如ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。

成膜树脂是一种高分子聚合物，由多种单体共聚而成，其结构设计直接决定光刻胶能形成的线宽，进而影响曝光能量和边缘粗糙度等关键参数。然而，目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断——即使是低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂，国内也主要依赖进口。

产业化的难点集中在两方面：一是合成技术，目前最常用的是自由基聚合，而能更好控制分散度（PDI）的阴离子聚合工业化条件苛刻，全球仅信越化学、JSR等少数公司产业化成熟；二是单体稳定供应，单体纯度要求达到99.5%、金属离子含量小于十亿分之一，目前能满足要求的全球供应商仅四五家。

政策如何推动树脂环节突破

半导体材料领域的政策支持是多层次的，核心逻辑是引导资金和资源向“卡脖子”环节集中：

  • 大基金投向：国家集成电路产业投资基金（大基金）将半导体材料列为重点投资方向，光刻胶及上游树脂、单体作为国产化率最低的环节之一，是资本关注的核心标的。
  • 进口替代鼓励目录：相关部门通过鼓励进口替代的技术目录，将高端光刻胶及关键原材料纳入政策支持范围，为企业研发和产业化提供方向性引导。
  • 税收优惠：符合条件的高新技术企业与集成电路材料企业可享受税收减免政策，降低企业在树脂合成研发和设备投入上的成本压力。

这些政策正在产生实际效果：在单体领域，徐州博康被市场公认为国内做得最好的企业，已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体，其中ArF单体覆盖率达80%以上，部分为独家产品；在树脂领域，彤程新材等国内公司也已在光刻胶上游原材料完成布局。

常见问题

成膜树脂的价值量占比有多高？

成膜树脂约占总材料成本的50%，是光刻胶中价值量最大的原材料。在ArF等高端光刻胶中，树脂的价值量占比更高，可达97%以上。

国内哪些企业在布局光刻胶树脂和单体？

在单体领域，徐州博康（A股华懋科技参股）被公认为国内领先，覆盖80%以上的ArF单体品种；在树脂领域，彤程新材、圣泉集团、强力新材等国内公司均已有布局。

树脂国产化的主要难点是什么？

两大难点：一是合成技术，阴离子聚合等先进工艺的工业化条件苛刻，需要长期积累Know-how经验；二是单体的稳定供应，对纯度和金属离子含量要求极高，目前全球合格供应商仅四五家。