光刻胶树脂在材料成本中占比过半,是半导体光刻胶最核心的原材料,但国产化水平极低,当前最大的风险在于高端树脂“买不到”、低端树脂“依赖进口”,叠加合成Know-how积累不足与单体供应集中,构成了供应链上的关键堵点。在光刻胶树脂这一环节,国产化风险显著,是半导体材料自主可控中绕不开的攻坚环节。

树脂:价值量最高、国产化最薄弱的环节

在光刻胶的原材料体系中,成膜树脂是价值量最大的部分,约占材料总成本的50%,其次是占比约35%的单体。更关键的是,部分高端光刻胶的树脂价值量占比更高,例如ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。

然而,目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断。即使是相对低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂,我国都主要依赖进口,国产化水平很低;而高端的ArF树脂则“想买都买不到”。这意味着即便光刻胶成品环节取得突破,上游树脂的“卡脖子”问题依然严峻。

产业化难点:合成Know-how与单体供应

树脂要实现产业化,主要面临两大难点:

一是合成技术的Know-how积累。 树脂合成技术主要分为自由基聚合和阴离子聚合。自由基聚合虽容易控制分子量、易产业化,但分散度(PDI)难以控制得很小,无法满足精细光刻性能要求;阴离子聚合虽能实现更优的光刻效果,但工业化条件苛刻,全球仅有少数公司产业化成熟。对企业而言,除了掌握合成技术,还需在生产管理和质量控制上严格把关,保证每批产品质量一致,这背后是对合成经验长期的理解与积累。

二是单体的稳定供应。 单体是合成树脂的核心原料,性能要求极高。成膜树脂要实现产业化,不仅单体供应要稳定,质量也要稳定。目前全球能够满足这一要求的单体供应商仅有四五家,供应高度集中,进一步放大了供应链风险。

常见问题

光刻胶树脂国产化率低到什么程度?

目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断,即使是低端的G线、I线树脂也主要依赖进口,高端ArF树脂则难以采购到,国产化水平整体很低。

树脂国产化的最大瓶颈是什么?

主要瓶颈在于两方面:一是合成技术的Know-how积累不足,尤其是阴离子聚合等高端工艺的工业化条件苛刻;二是核心原料单体的稳定供应难,全球合格供应商仅四五家。

国内是否有企业在布局光刻胶树脂?

已有国内公司开始布局光刻胶上游原材料。其中在单体领域,徐州博康被认为布局较为领先,已拥有品种较多、产量较大的KrF和ArF单体,并打通了除单体以外的其他原材料环节。