全球电子特气市场长期由四大国际巨头主导,美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团合计占据全球约九成份额;中国市场同样以外资为主,四家合计份额约88%。国产突破集中在六氟乙烷等单品上,整体仍处于追赶位置——国内厂商多为追随者,部分企业以给国际大厂代工贴牌的方式参与供应链,真正的追赶进展体现在少数单品通过终端认证。

全球格局:四大巨头主导,中国也是外资主场

全球电子特气竞争格局中,美国空气化工约占25%、法国液化空气约占25%、日本大阳日酸约占23%、德国林德集团约占18%。

中国市场的集中度同样很高,但排序略有不同:美国空气化工约占25%,德国林德集团约占23%,法国液化空气约占23%,日本大阳日酸约占17%。

中国位置:单品突破,整体追赶

国内电子特气国产化率还不到15%,是半导体材料中的薄弱环节。突破是点状的:华特气体从高纯六氟乙烷入手,如今能够规模化供应的产品已达20多种,其中一些产品的纯度和品质已达到国际先进水平。

但认证仍是最大瓶颈。终端晶圆厂或设备商一般不愿直接使用国产产品,获得认证的国产厂商很少。国际大厂在半导体领域深耕数十年,在与终端客户协同试错中建立了合作关系,终端客户更信任其管控体系。因此国内大部分气体公司只能给国际大厂做代工——大厂从国内厂商购买部分气体产品后,再贴牌销售给下游客户。

常见问题

六氟乙烷国产突破后,中国在全球电子特气中处于什么位置?

六氟乙烷等单品的突破代表了中国厂商的追赶进展,华特气体已从高纯六氟乙烷切入并扩展到20多种可规模化供应的产品。但整体上国产化率仍不足15%,多数国内厂商是追随者,部分仅为国际大厂代工贴牌,尚未改变四大巨头主导的格局。

为什么国产电子特气通过终端认证这么难?

电子特气对纯度要求极高,进入纳米时代后至少需达到5N,先进制程更要求6N以上,且混合气的配比精度直接决定光刻分辨率等关键指标。国内厂商相对缺乏创新能力、难以稳定供应高品质产品,而国际大厂凭借数十年协同试错积累的信任,管控体系更受终端客户认可。

如何判断一家电子特气公司的竞争力?

一个可参考的标准是认证情况:已获得认证、尤其是海外终端厂商认证的气体公司,产品必然更加优秀。例如华特自主研发的4种光刻混合气已通过阿斯麦认证,锗烷产品通过海力士及英飞凌认证,还有更多产品获得中芯国际、合肥长鑫等国内晶圆厂认证。