Intel Tick-Tock模式失效后,半导体设备产业链的价值分配正在发生深刻变化:设备商从“跟随制程升级”的被动角色,转向与晶圆厂“协同优化”的主动参与者,而国产设备商在这一轮产业转移、政策支持与技术迭代放缓的叠加中,获得了重塑产业链话语权的历史机遇。

过去十几年,Intel 以 Tick-Tock 模式(先升级制造工艺、再推出同工艺微架构,间隔约 12 到 18 个月)捍卫摩尔定律。但进入 10nm 尺度后,制程缩小的难度指数级上升,从 22nm 开始芯片制程迭代明显放缓,Intel 原定 2015 年推出的 10nm 工艺延迟,主流产品制程长期停留在 10nm。这一节奏被打破,意味着设备环节不再被“快速迭代”倒逼,后来者获得了追赶的时间窗口。

设备商角色转变:从“跟随”到“协同”

制程迭代放缓改变了设备商与晶圆厂的协作逻辑。过去设备商需要紧跟龙头晶圆厂的最先进制程节奏,在每一代 Tick-Tock 周期内完成配套设备升级;而如今,先进制程推进放缓,设备商有更多时间与晶圆厂进行工艺协同优化,深度参与产线验证与工艺开发。这种转变使得设备商不再仅仅是“卖设备”的供应商,而是与晶圆厂共同定义工艺路线的技术伙伴,产业链价值分配也随之向具备协同研发能力的设备商倾斜。

国产设备的三大机遇重塑价值格局

在这一背景下,我国设备企业正迎来产业转移、政策支持和技术进步放缓三大历史机遇。

产业转移方面,全球半导体产业正经历第三次转移,目的地是中国大陆。中国大陆晶圆制造市场份额从 2005 年的 7% 提升至 2020 年的 23%,2021-2022 年全球计划新建的 29 家晶圆厂中,大陆地区占据 8 家。大陆半导体设备需求大幅提升,2021 年规模达 296 亿美元,全球占比 28.9%。

政策支持方面,国家通过集中研发、政府补助、股权投资等多路径支持半导体产业,大基金二期重点投资设备材料领域。更重要的是,大基金投资了大量国内晶圆厂,在穿针引线下,晶圆厂对国产设备的接受度明显提升,“基本上能用国产设备的都使用了国产设备”。例如北方华创的刻蚀机、PVD 设备在 2020 年投入市场后,受到下游积极反馈,订单增长迅速——下游接受度的提升,直接增强了国产设备商的议价能力与市场份额。

技术迭代放缓方面,全球芯片技术发展减慢,为国产设备技术追赶提供了可能。以中微公司为例,其 CCP 刻蚀机已覆盖至 5nm 制程,并进入台积电供应链,部分产品已具备与国际一流厂商竞争的实力。

怎么看设备产业链的成长逻辑

评估设备企业在这轮价值分配变化中的位置,核心看三点:市场空间、国产替代进程和企业自身实力

市场空间决定成长天花板。设备种类繁多且差异大,企业很难靠自主研发实现跨设备发展,国际巨头应用材料也是通过外延并购扩张为多领域龙头。光刻、刻蚀和薄膜沉积三大核心赛道空间最大,更适合长坡厚雪的企业。

国产替代进程决定当前成长性。去胶设备国产化率已超 90%,成长性相对有限;刻蚀、清洗、热处理设备国产化率约 20%,处于快速替代期;光刻设备则处于预计将有零的突破的阶段。综合来看,刻蚀和薄膜沉积设备兼具市场空间与替代弹性,是观察产业链价值迁移的重点方向。

企业自身实力则看市占率与技术节点两个指标,分别代表市场地位与研发能力。

常见问题

大基金对国产设备产业链的实际影响是什么?

大基金不仅为设备企业提供资金支持,更关键的是投资了大量国内晶圆厂,在穿针引线下提升了晶圆厂对国产设备的接受度。这种“设备+制造”的联动,直接改变了国产设备商在产业链中的议价地位,使其从“被观望”转为“被采用”,订单增长随之加速。

技术迭代放缓为何利好国产设备商?

过去 Tick-Tock 模式下,制程每 12-18 个月升级一次,后来者很难追上应用材料、东京电子等龙头。而制程缩小难度指数级上升后,迭代明显放缓,为国产设备在技术上追赶提供了时间窗口。中微公司刻蚀机覆盖至 5nm 并进入台积电供应链,即是这一机遇的例证。

哪些设备细分领域最值得关注?

综合市场空间与国产替代进程,刻蚀和薄膜沉积设备是两大核心赛道。刻蚀设备占晶圆制造设备价值量约 30%,薄膜沉积约 25%,且国产化率均在 20% 左右,替代空间大;而光刻设备虽空间大,但国产化仍处预计将有零的突破阶段,不确定性较高。