捷佳伟创的RPD(立式反应式等离子体镀膜)设备已实现量产交付,这标志着钙钛矿电池在核心镀膜环节取得了关键突破。在钙钛矿技术路线中,设备端的核心竞争壁垒主要围绕镀膜、涂布、激光三大工艺展开,其中PVD(含RPD)设备价值量最高,约占全产业链的40%。RPD技术相比传统PVD(如溅射镀)和ALD,在立式镀膜工艺上具备独特优势,是当前国产设备打破进口依赖、提升钙钛矿组件效率与大面积量产能力的关键壁垒。
RPD技术的差异化优势与难点
在钙钛矿电池的镀膜环节,PVD是使用最广泛的原理,但具体路线差异显著。RPD(立式反应式等离子体镀膜)采用立式设计,适合在玻璃基板上自下而上镀膜,这在大面积玻璃基板的生产中能有效避免水平放置带来的自然形变问题。相比之下,晶硅路线更倾向卧式(水平)PVD,因为薄硅片立式固定困难。RPD的难点在于大面积均匀性控制和反应气体精准调控,捷佳伟创是当前国内唯一公告可量产RPD设备的厂商,其设备已通过厂内验收并发运客户,填补了国产空白。
其他核心设备:涂布与激光
涂布设备主要用于钙钛矿层制备,量产线主流采用狭缝涂布技术,其封闭系统能提升工艺稳定性。目前国内技术领先的是上海德沪,其开发的全球首套用于大面积钙钛矿的涂布机已验收成功,在核心涂膜设备领域超越海外厂商。
激光设备负责P1至P4四道刻蚀工序,用于去除TCO层、功能层、背电极等。国内参与者包括众能光电、杰普特、帝尔激光、大族激光和迈为股份等。例如,杰普特已为大正微纳定制柔性钙钛矿膜切设备,帝尔激光在2022年交付了用于钙钛矿电池的激光设备。
常见问题
捷佳伟创的RPD设备与常规PVD设备有何不同?
RPD是立式反应式等离子体镀膜设备,采用立式设计,更适合在大面积玻璃基板上镀膜,能避免水平放置的形变问题。捷佳伟创是唯一国产RPD量产设备供应商。
钙钛矿电池设备中,价值量最高的工艺环节是什么?
PVD(含RPD)设备价值量最高,约占全产业链的40%,其次是涂布设备(约20%)、激光设备(约10%)。PVD设备在钙钛矿电池的多个环节(如玻璃镀膜、传输层、电极)均有应用。
国内哪些公司已实现钙钛矿激光设备的量产交付?
已交付钙钛矿激光设备的公司包括杰普特(柔性钙钛矿膜切设备)、迈为股份(单结大面积钙钛矿激光设备)、帝尔激光(P1-P4激光设备)等。