半导体材料中的电子特气环节,格局特征是“国际巨头主导、国产厂商分散突破”。全球及中国电子特气市场均由美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团等国际大厂占据主要份额,国内企业整体国产化率仍较低,更多是在不同细分单品上各自实现突破,形成差异化竞争。以凯美特气为例,其液态二氧化碳收入达2.34亿元,为第一大业务,二氧化碳纯度可达99.9996%,并以高纯单品切入半导体材料供应链。

国际巨头主导,国产份额仍低

电子特气素有“半导体的血液”之称,半导体制造中使用的气体超过100种,特种气体与大宗气体用量大致各占一半。全球电子特气竞争格局中,美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团合计占据大部分份额;中国市场上,这几家国际企业同样占据主导地位,国内企业整体国产化率还不到15%。

国内厂商以高纯单品差异化突破

国内电子特气企业数量众多,但产品布局分散,更多是在各自擅长的单品上实现突破,彼此之间以差异化竞争为主。凯美特气的主要产品包括二氧化碳、氖气、氢气、氟气、氙气、一氧化碳、氮气等,其中液态二氧化碳是其第一大业务,收入2.34亿元,二氧化碳纯度达99.9996%。华特气体则从高纯六氟乙烷入手,可规模化供应的产品达20多种。金宏气体、南大光电、昊华科技、派瑞特气等也各有侧重。

企业主要产品方向代表性纯度指标
凯美特气二氧化碳、氖气、氢气等稀有气体二氧化碳99.9996%
金宏气体超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳等超纯氨99.999998%
华特气体高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳等高纯二氧化碳99.9997%
南大光电砷烷、磷烷等氢类及含氟电子特气磷烷、砷烷≥99.9999%

认证壁垒是筛选关键

电子特气纯度直接影响芯片技术指标和良率,先进制程要求纯度达到6N以上,技术瓶颈集中在提纯与混合气精确配比。国内企业相对缺乏创新能力,稳定供应高品质产品的能力有限,终端晶圆厂或设备商通常不愿直接采用,获得认证的国产厂商较少。部分企业产品已能满足下游需求,但因缺少认证,暂时只能通过国际大厂贴牌销售。因此,是否获得终端客户认证,尤其是海外厂商认证,可作为筛选国内气体企业的重要参考。

常见问题

电子特气和普通工业气体有什么不同?

电子特气最明显的特征是纯度极高。普通工业气体纯度一般为3N至4N,而电子特气进入纳米时代后至少需达到5N,先进制程更要求6N以上,杂质含量控制极为严格。此外,混合气体的配比精度也是核心技术参数之一。

国内电子特气企业为什么难以直接进入晶圆厂供应链?

国际大厂在半导体领域深耕数十年,与终端客户在协同试错中建立了信任关系,客户更认可其管控体系。国内企业多为追随者,创新能力与供应稳定性相对不足,因此获得认证的厂商较少,部分产品只能通过国际大厂贴牌销售。

凯美特气在电子特气领域的定位是什么?

凯美特气主要涉及稀有气体,产品包括二氧化碳、氖气、氢气、氟气、氙气、一氧化碳、氮气等,其中液态二氧化碳为第一大业务,收入2.34亿元,纯度达99.9996%。其混合气体已能满足阿斯麦光刻机需求,但因缺少认证,暂时通过林德和法液空销售。