薄膜沉积设备市场高度分散,泛林半导体的份额优势难以直接转化为对下游晶圆厂的全面议价能力。在PVD领域,应用材料以85%的份额形成主导;ALD领域东京电子占45%、应用材料占29%、泛林半导体占26%;CVD领域应用材料占28%、泛林半导体占25%、先晶半导体占17%、东京电子占11%。泛林半导体在CVD与ALD各占约四分之一,是重要参与者,但并非单一品类的绝对主导者;其议价能力更可能体现在特定关键工艺环节,而非全品类定价权。
分散格局:份额优势被品类切分
薄膜沉积设备市场构成较为分散,占比最大的PECVD份额也仅为33%。各细分赛道由不同厂商主导,单一厂商难以在所有品类形成垄断定价权。泛林半导体在CVD和ALD均处于约四分之一的位置,属于头部梯队,但在PVD领域并无份额数据。这种格局意味着设备商的议价能力更多取决于其在关键工艺中的不可替代性,而非整体份额高低。
关键工艺:ALD为何成为议价支点
ALD是薄膜沉积中值得重点关注的品类,虽然当前占比为11%,但被视为“兵家必争之地”。在28nm以下的先进制程中,FinFET结构的Fin宽度小于光刻机所能制造的最小尺寸,需通过自对准双重成像技术(SADP)完成,其中ALD沉积的Spacer材料宽度直接决定Fin宽度,是制约逻辑芯片先进程度的核心因素之一。在这一步工艺中,ALD虽只使用一次,却决定了最终芯片制程,缺少该环节后续流程无从谈起。掌握此类关键工艺的设备商,在议价中更具优势。
需求侧与客户集中度的影响
中国大陆市场对CVD和PVD的需求合计约200亿元,其中CVD约165亿元、PVD约55亿元(2020年测算数据,来源为国盛证券研究所)。以长江存储的采购数据为例,其薄膜设备采购量在各年份间波动明显,说明下游晶圆厂的扩产节奏与设备采购并非线性。当客户高度集中时,设备商面对的是具备强议价能力的大型晶圆厂,单一品类的份额优势容易被客户的集中采购策略所抵消。
常见问题
泛林半导体在薄膜沉积领域的份额优势能否直接转化为定价权?
泛林半导体在CVD和ALD各占约四分之一,是重要参与者,但PVD领域由应用材料以85%份额主导。在分散格局下,单一厂商难以在所有品类形成垄断定价权,其议价能力更可能集中在特定关键工艺环节。
ALD为什么被视为薄膜沉积设备中的关键赛道?
ALD能满足先进制程和3D结构的需求,在28nm以下FinFET的SADP工艺中,ALD沉积的Spacer材料宽度直接决定Fin宽度,是制约逻辑芯片先进程度的核心因素之一。虽然当前占比仅11%,但属于“兵家必争之地”。
下游晶圆厂的集中度如何影响设备商的议价能力?
中国大陆CVD和PVD市场需求合计约200亿元,下游晶圆厂采购规模大且集中。以长江存储为例,其薄膜设备采购量在各年份间波动明显,客户集中度高时,设备商单一品类的份额优势容易被集中采购策略抵消,议价能力受到制约。