复合集流体产业化正处在从“设备国产替代完成”迈向“下游规模扩产启动”的关键拐点。标志性信号是，磁控溅射设备龙头腾胜科技的产能规划：新厂区一期投产后年产能增至约35台，随后继续扩张，到2023年年底进一步增至每年60台。这一跃迁意味着设备端已为下游大规模量产做好准备，行业正从验证期进入放量期。

从实验室到量产：设备国产化是前提

复合集流体（以复合铜箔为代表）的产业化，首先要解决“用什么设备造”的问题。当前主流技术路线是“磁控溅射+水电镀”两步法，其中磁控溅射设备是核心环节之一。

这一环节经历了明显的进口替代过程。在产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，但海外设备造价普遍昂贵（约为国产设备的3倍）、生产周期长且维护难度大。随着产业发展，国产设备逐步切入，目前行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，进口替代基本完成。

产能跃迁：35台到60台的行业坐标

国产替代的完成，为设备商的扩产奠定了基础。以处于国产磁控溅射设备第一梯队、占据市场半壁江山的腾胜科技为例，其产能扩张节奏清晰反映了行业拐点的到来：

  • 2022年底：新厂区一期工厂完工，产能增加一倍，达到每年约35台；
  • 2023年底：产能进一步扩张至每年60台。

这一产能跃迁的背景，是下游复合铜箔的大规模扩产预期。资料显示，当时设备采购订单以1-2台为主，但预计到次年年中可能出现一次性订购10-20台设备的情况——意味着设备商的产能可能仅需3-5家客户即可全部消化。这种从“单台采购”到“批量下单”的转变，正是产业化从导入期进入加速期的典型特征。

关键拐点的双重含义

综合来看，这一阶段的拐点意义体现在两个层面：

一是设备端从“能做”到“能量”。腾胜科技等头部厂商完成进口替代后，产能的成倍扩张解决了规模化供应的瓶颈，为下游扩产提供了“弹药”。

二是需求端从“验证”到“放量”。水电镀设备环节同样印证了这一趋势——东威科技的双边夹卷式水平镀膜设备在2022年8月和9月公告的订单及框架协议总金额就超过17亿元，批量订单的出现标志着产业链已进入实质性的产能建设周期。

常见问题

为什么磁控溅射设备率先实现了国产替代？

因为磁控溅射工艺此前已在光学、电子工业中广泛应用，迁移到复合铜箔领域工艺变动不大，国产设备凭借约三分之一于进口设备的价格和更短的生产周期，在产业初期即获得了切入机会，并逐步完成替代。

35台到60台的产能扩张意味着什么？

这组数字反映的是头部设备商对未来需求的预判和提前布局。产能的成倍扩张，叠加订单模式从1-2台小单转向10-20台批量订购，说明产业链正从设备验证阶段进入规模化扩产阶段。

除了磁控溅射，还有哪些设备环节值得关注？

水电镀设备是两步法的另一关键环节，目前复合铜箔水电镀设备基本由东威科技供应，其设备良率可达90%以上并已获得批量订单。此外，一步法化学镀铜设备（如三孚新科）和磁控溅射-蒸镀一体机（道森股份布局中）等新路线设备也在推进中。