中国在复合集流体磁控溅射设备领域已完成从进口依赖到国产主导的关键转身,以腾胜科技为代表的国产设备商在全球产能版图中占据第一梯队位置,其年产能规划达60台,处于行业头部梯队。

复合集流体产业中,磁控溅射设备是两步法工艺的核心装备。在产业发展初期,该设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等海外公司,但进口设备造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、维护难度大。随着产业发展,国产设备凭借高性价比逐渐切入并完成进口替代,目前行业内的新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。

国产设备商的全球竞争力

在竞争格局方面,国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区。其中,腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据了半壁江山。其他厂商起步较晚,与腾胜科技存在一定差距。

腾胜科技从2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK。其主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等,单台设备价格在1700-2300万元之间。

参数2代机2.5代机
速度 (m/min)1320
单机年产能 (万方)5601100

产能扩张与市场话语权

面对下游复合铜箔大规模扩产带来的设备需求激增,腾胜科技正在加紧扩张产能。其新厂区一期工厂完工后产能增加一倍至每年35台左右,后续将进一步扩张至每年60台。从订单情况来看,当前设备采购订单以1-2台为主,未来可能出现一次性订购10-20台设备的情况,公司产能可能只需3-5家客户就能全部消化。

在复合集流体设备产业链中,中国厂商的竞争力不仅体现在磁控溅射设备上。水电镀设备方面,目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商为东威科技,其双边夹式设备良率可达90%以上,并已获得批量订单。整体来看,中国在复合集流体设备领域已形成较为完整的本土供应链,具备较强的全球竞争力。

常见问题

磁控溅射设备国产替代完成了吗?

基本完成。目前行业内的新增产能基本上都会采购国产的磁控溅射设备,国产设备凭借高性价比完成了进口替代,腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。

国产磁控溅射设备与进口设备差距在哪?

进口设备在工艺成熟度和运行稳定性方面有优势,但造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、维护难度大。国产设备经过多年技术积累,在性能上已具备较强竞争力,腾胜科技的设备生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。

中国设备商在全球复合集流体设备市场处于什么位置?

中国设备商在复合集流体设备领域已形成较完整的本土供应链。磁控溅射设备方面,腾胜科技产能规划达每年60台,处于行业头部梯队;水电镀设备方面,东威科技是目前唯一能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商。中国厂商在全球复合集流体设备供应版图中具有较强竞争力与话语权。