摩尔定律放缓后,半导体设备的下游应用场景和需求结构正从单纯追逐先进制程,转向成熟制程扩产、特色工艺设备需求增长以及国产替代加速的多元格局。制程迭代速度减慢,为设备企业在技术和市场层面提供了追赶窗口,晶圆厂的投资重心也随之调整。
技术迭代放缓重塑设备需求方向
芯片制程从22nm节点开始明显放缓,Intel的Tick-Tock开发模式在10nm节点遭遇延后,主流产品制程长期停留在14nm和10nm。这使得原本高度集中于最先进制程的设备投资,开始向成熟制程和特色工艺扩散。晶圆厂不再仅追求线宽缩小,而是更注重产能扩充和工艺多样化,从而带动了对刻蚀、薄膜沉积等核心设备在更广泛制程节点的需求。
国产设备在特色工艺领域迎来机遇
在产业转移和政策支持的双重驱动下,中国大陆已成为全球最大的半导体设备市场。国产设备在功率半导体、CIS、MEMS等特色工艺领域的渗透率正快速提升。例如,刻蚀设备的国产化率已达到20%左右,中微公司的CCP刻蚀机已覆盖到最先进的5nm制程并进入台积电供应链。这类特色工艺设备因其应用场景广泛、技术迭代节奏相对可控,成为国产设备企业实现突破的重要方向。
常见问题
摩尔定律放缓对国产设备企业意味着什么?
摩尔定律放缓为国产设备企业提供了技术追赶的窗口期。由于制程迭代难度指数级上升,国际领先厂商的领先优势不再像过去那样快速扩大,国内企业如中微公司等得以在刻蚀等核心设备领域实现技术突破,部分产品已不逊色于国际一流厂商。
成熟制程和特色工艺设备的需求增长主要来自哪里?
需求增长主要来自两方面:一是产业转移趋势下,中国大陆晶圆厂持续扩产,2021-2022年全球计划新建的29家晶圆厂中,大陆地区占据8家;二是政策支持推动国产替代,大基金等资金重点投资设备和材料领域,晶圆厂对国产设备的接受度明显提升,刻蚀机、PVD等设备订单增长迅速。
哪些半导体设备的国产替代进程较快?
根据行业数据,去胶设备国产化率已超过90%,清洗设备、刻蚀设备、热处理设备的国产化率均在20%左右,PVD设备和CMP设备国产化率约10%。光刻设备预计将实现零的突破,而涂胶显影设备已实现零的突破。国产替代进程较快的设备领域,企业成长性也相对更强。