北方华创的ICP刻蚀设备累计出货已超过1000台，其核心设备制程达到28nm，是国内刻蚀设备领域的重要龙头之一。 在全球市场，泛林半导体（拉姆研究）是绝对龙头，与东京电子、应用材料合计占据约90%的市场份额。国内市场中，中微公司和北方华创是两大主力，其中中微公司在大陆市场份额约20%，北方华创约6%。
刻蚀设备市场格局
全球刻蚀设备市场高度集中。根据Gartner数据，泛林半导体（拉姆研究）在全球干法刻蚀设备市场份额约46.71%，是行业龙头。东京电子（25.57%）和应用材料（16.96%）紧随其后，三家公司合计份额约90%。在大陆市场，泛林半导体同样占据约52%的份额，中微公司以20%位居第二，北方华创占比约6%。
国内刻蚀设备企业主要包括中微公司和北方华创。中微公司的传统优势在于CCP（电容性等离子体刻蚀）设备，已覆盖5nm工艺并进入台积电供应链。北方华创则专注于ICP（电感性等离子体刻蚀）和金属刻蚀，是设备品类最全的平台型企业。
北方华创：ICP刻蚀出货超千台
北方华创的ICP刻蚀设备累计出货量已超过1000台，核心设备制程达到28nm，更先进的14nm工艺也已进入验证阶段。其产品线覆盖硅刻蚀、金属刻蚀、深硅槽刻蚀及化合物刻蚀等多个品类，已进入多家国内晶圆厂并实现大规模应用。
作为国内最大的半导体设备企业，北方华创的产品布局覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗等多个大类，同时也服务于光伏、LED等泛半导体领域。在刻蚀领域，其ICP设备主要应用于硅刻蚀和金属刻蚀，与中微公司侧重CCP介质刻蚀形成差异化竞争。
常见问题
全球刻蚀设备龙头是谁？
泛林半导体（拉姆研究）是全球刻蚀设备龙头，在全球市场占比约46.71%，在大陆市场占比约52%。东京电子和应用材料分别位列第二、三位。
北方华创的刻蚀设备技术处于什么水平？
北方华创的ICP刻蚀设备核心制程达到28nm并实现量产，14nm工艺已进入验证阶段，累计出货超1000台，是国内ICP刻蚀领域出货量最大的厂商之一。
中微公司和北方华创在刻蚀领域有何不同？
中微公司传统优势在CCP介质刻蚀，已覆盖5nm工艺；北方华创则深耕ICP硅刻蚀和金属刻蚀，核心制程为28nm。近两年中微公司也已切入ICP赛道，未来两者在该领域将形成正面竞争。