氖气在光刻环节中作为光刻气(Ar/F/Ne、Kr/Ne 等混合气)的核心组分,是光刻机产生深紫外激光的光源气体,其供给波动确实会影响部分混合气的供应稳定性,但对下游晶圆厂的需求结构影响有限——因为氖气的市场规模仅约 1 亿美元,在半导体特种气体约 45 亿美元的市场中占比很小,且国内供给与乌克兰相近,单一区域供给波动难以从根本上改变下游晶圆厂对光刻气的整体需求格局。

氖气在光刻环节中的角色

在半导体制造中,光刻气体是光刻机产生深紫外激光的光源,不同种类的光刻气能产生不同波长的光源,直接决定光刻机的分辨率。常见的含氖光刻气包括 Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Ar/Xe/Ne 混合气以及 Kr/F/Ne 混合气,氖气在这些混合气中作为稀释或缓冲气体,是光刻工艺不可或缺的组分。

由于混合气的配比精度直接影响光线波长偏差和光刻机分辨率,氖气的纯度与供应稳定性对光刻环节至关重要。

乌克兰供给波动的实际影响

关于乌克兰氖气供给占比,资料显示其占比约四到五成,并非媒体宣称的百分之七八十,且国内氖气供给与乌克兰相当,这在一定程度上缓冲了单一区域供给冲击的影响。

从市场规模看,氖气的全球市场规模仅约 1 亿美元,而半导体特种气体整体市场规模约 45 亿美元,规模最大的单品三氟化氮约 8 亿美元,六氟化钨约 3 亿美元。相比之下,氖气的体量决定了其能贡献的业绩弹性很小,对下游晶圆厂整体需求结构的影响较为有限。

气体品类市场规模(约)
三氟化氮8 亿美元
六氟化钨3 亿美元
六氟化二硒2.5 亿美元
氖气1 亿美元

常见问题

氖气供给波动会导致光刻气价格上涨吗?

短期来看,供给冲击可能带来价格波动,但氖气市场规模仅约 1 亿美元,且国内供给与乌克兰相当,具备一定的替代缓冲能力。长期看,氖气在半导体材料成本中占比很小,对晶圆厂整体成本结构的影响相对有限。

含氖光刻气能否被其他气体替代?

目前主流光刻气如 Ar/F/Ne、Kr/Ne 等混合气均以氖气为必需组分,氖气在深紫外光刻光源中具有特定物理作用,短期内难以找到直接替代方案。不过,晶圆厂可以通过多元化采购渠道来降低单一区域供给波动带来的风险。

国内氖气供应商能否受益于供给波动?

国内氖气供给与乌克兰相当,具备一定的供应能力。但氖气市场规模仅约 1 亿美元,能贡献的业绩弹性很小。同时,国产气体厂商获得终端晶圆厂认证的仍然较少,多数通过国际大厂贴牌销售,这限制了国产厂商在供给波动中的直接获益空间。