PECVD占全球薄膜沉积设备市场33%，是细分品类中份额最大的单一赛道，但这一市场长期由应用材料、泛林半导体、东京电子等国际巨头主导。在PECVD这一细分品类中，国内已出现实现产业化突破的厂商，但全球份额仍处于起步阶段，国产替代正从国内产线逐步向更广市场渗透。

全球PECVD竞争格局：国际巨头主导，国产刚突破

在薄膜沉积设备整体市场中，CVD类设备（含PECVD）的主要份额集中于应用材料（28%）、泛林半导体（25%）等国际厂商，东京电子在ALD领域占有45%的份额，应用材料在PVD领域则高达85%。PECVD作为CVD中占比最大的细分品类，其竞争格局基本延续了这一国际巨头主导的态势。

国内厂商方面，拓荆科技是目前国内唯一一家实现PECVD设备产业化的厂商，其产品已覆盖180—14nm制程的逻辑芯片以及64层和128层的3D NAND存储芯片。但从全球视角看，国内厂商在PECVD领域的市场份额尚处于早期积累阶段，与国际巨头存在明显差距。

国产PECVD的突围路径：从国内产线验证走向全球供应链

国产PECVD设备的突破路径，首先是在国内主流晶圆厂产线上完成验证与批量导入。以长江存储的招标数据为例，拓荆科技在CVD类设备中的中标占比约为2—3%；而在华虹无锡、华力集成等产线中，拓荆科技的薄膜设备国产化率（以机台数量计）达到5%—11%左右。这些国内产线的验证经验，是国产设备向全球供应链渗透的前提。

另外值得关注的是，拓荆科技在ALD领域也有布局，其PEALD设备已能应用于14nm及以下的逻辑芯片制造。ALD虽是薄膜沉积市场中占比仅11%的品类，但被视为先进制程的“兵家必争之地”，这一技术卡位为国产厂商在下一代竞争中争取了重要身位。

常见问题

PECVD和ALD哪个更重要？

PECVD是当前市场规模最大的薄膜沉积品类，占比33%，是厂商收入的基本盘；ALD虽然目前占比仅11%，但因其能满足先进制程和3D结构的需求，被视为增长最快的“兵家必争之地”。两者不存在替代关系，而是覆盖不同制程和功能需求。

国产PECVD设备与国际巨头的主要差距在哪里？

差距主要体现在市场积累和客户验证广度上。国际巨头在CVD领域拥有数十年的产业化经验和全球客户网络，而国产厂商目前主要依托国内晶圆厂产线进行验证和导入，全球市场份额尚处于早期阶段。技术层面，国产PECVD已覆盖180—14nm制程，正在向更先进节点推进。

薄膜沉积设备的国产替代进度如何？

目前国产替代的主力是拓荆科技和北方华创两家。拓荆科技在PECVD领域是唯一实现产业化的国产厂商，北方华创的优势集中在溅射PVD领域，两家公司在ALD领域均有布局。从国内主要晶圆厂的采购数据看，薄膜沉积设备的国产化率总体在10%左右，仍处于快速提升的早期阶段。