在钙钛矿镀膜设备的全球竞争中,ALD(原子层沉积)环节的中国厂商整体处于“追赶与局部突破并存”的位置:进口端以荷兰SMIT为代表,国产端目前以湖南红太阳为代表实现了ALD设备出货,相较溅射PVD、RPD、涂布、激光等环节国产厂商已批量出货的格局,ALD的国产供给仍相对有限。从价值量看,PVD(含RPD)、涂布、激光设备在钙钛矿产线中的价值占比约为40%、20%、10%左右,ALD未单独列出。
各镀膜子环节的中外厂商分布
钙钛矿镀膜设备按工艺可分为溅射PVD、RPD、蒸镀PVD、ALD等类别,中外厂商分布差异明显:
| 设备类别 | 进口厂商 | 国产厂商 |
|---|---|---|
| 溅射镀PVD | — | 捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳 |
| RPD | — | 捷佳伟创 |
| 蒸镀PVD | 加拿大Angstrom Engineering | 京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源 |
| ALD | 荷兰SMIT | 湖南红太阳 |
从上表可见,ALD是进口依赖度相对较高的环节,进口为荷兰SMIT,国产仅有湖南红太阳一家完成出货。相比之下,溅射PVD环节国产厂商数量较多,蒸镀PVD环节也已形成多家国产厂商布局。
技术来源与出货验证进度
国产设备的技术来源多为传统光伏设备厂商向钙钛矿延伸。捷佳伟创的立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)已通过厂内验收并发运客户,官方表述为“填补国产设备空白”;京山轻机旗下晟成光伏完成蒸镀PVD(卧式&立式)出货,并申请了集成RPD和PVD的镀膜设备专利;湖南红太阳则完成了溅射镀PVD以及ALD的出货。
涂布环节,国产厂商上海德沪开发出全球首套用于大面积钙钛矿的涂布机,官方表述为在大面积钙钛矿领域“超过海外厂商”,并可提供从研发、中试到量产的系列精密溶液成膜设备与全解决方案。激光环节,众能光电、杰普特、帝尔激光、大族激光、迈为股份等均有钙钛矿相关产品布局。
整体来看,中国厂商在涂布、激光、溅射PVD等环节的出货验证进度相对靠前,ALD环节则仍以单家国产厂商突破为主,全球格局中的位置需结合后续客户端验证进展持续观察。
常见问题
ALD环节为什么国产供给相对有限?
ALD设备对薄膜厚度控制和均匀性要求较高,工艺窗口较窄,国产厂商进入该环节的时间相对晚于PVD、涂布等环节。目前资料中列出的国产ALD厂商为湖南红太阳,进口端为荷兰SMIT,整体呈现进口为主、国产单点突破的格局。
中国厂商在钙钛矿镀膜设备中哪些环节进展较快?
在涂布、激光、溅射PVD等环节,国产厂商已有较多出货记录。上海德沪开发了全球首套用于大面积钙钛矿的涂布机,众能光电、杰普特、帝尔激光、大族激光、迈为股份等在激光设备环节均有布局,捷佳伟创的RPD设备也已发运客户。
如何判断国产ALD设备的后续进展?
可关注国产厂商在客户端量产线上的验证与重复订单情况,以及是否有更多厂商进入ALD环节。具体进展建议以各公司公告及官方发布信息为准。