从钙钛矿镀膜设备的发展脉络看，行业经历了从单一装备开发到多品类出货、再到量产验证的递进过程。众能光电较早开发了一系列钙钛矿光电器件装备，拥有近20项发明和实用新型专利，并通过ISO9001国际质量管理体系认证，是国产装备起步阶段的代表性节点；捷佳伟创的立式反应式等离子体镀膜设备（RPD）通过厂内验收，被表述为填补国产设备空白；晟成光伏的团簇型多腔式蒸镀设备实现量产并成功应用于多个客户端，则标志着镀膜设备向客户端验证与量产配套推进。

镀膜设备的关键进展脉络

钙钛矿电池生产中，镀膜是多环节、多路线都会用到的工序。除钙钛矿层外，其余部分大多涉及镀膜设备，这也是其在整线价值量中占比较高的原因。

从公开进展看，几个节点较为清晰：

  • 众能光电：开发了一系列钙钛矿光电器件装备，覆盖喷雾热解镀膜机、磁控溅射机、真空蒸镀机、PECVD和SALD等品类，拥有近20项发明和实用新型专利，并通过ISO9001认证。
  • 捷佳伟创：代表其新技术的立式反应式等离子体镀膜设备（RPD）通过厂内验收，将发运给客户投入生产，被表述为填补国产设备空白。
  • 晟成光伏：团簇型多腔式蒸镀设备经过研发及实验数据验证后实现量产，并成功应用于多个客户端；同期还申请了“一种集成RPD和PVD的镀膜设备”专利。

ALD在镀膜体系中的位置

在钙钛矿镀膜设备中，PVD（含RPD）的价值占比约40%，涂布约20%，激光约10%。ALD属于镀膜设备中的一类，主要用于特定膜层沉积。从已公告的供应商看，ALD环节国产厂商中提及湖南红太阳，进口方面则有荷兰SMIT。相比PVD、涂布、激光，ALD在国内钙钛矿领域的出货与验证信息相对有限，属于需要持续跟踪的细分方向。

常见问题

钙钛矿镀膜设备目前主要有哪些类型？

主要包括溅射镀PVD、RPD、蒸镀PVD以及ALD等。其中RPD国产厂商中提及捷佳伟创，蒸镀PVD国产厂商包括晟成光伏、众能光电等，ALD国产厂商中提及湖南红太阳。

捷佳伟创的立式RPD为什么被视为关键节点？

该设备通过厂内验收并发运客户投入生产，被表述为填补国产设备空白。同时，钙钛矿在玻璃上镀膜，未来更可能采用立式设备，立式RPD的推进对应了这一技术方向。

晟成光伏的蒸镀设备量产意味着什么？

团簇型多腔式蒸镀设备实现量产并成功应用于多个客户端，说明该类镀膜设备已从研发阶段进入客户端实际使用，是镀膜设备产业化推进的一个观察点。