钙钛矿产业化带动镀膜设备需求升温,在立式PECVD/PVD设备领域,捷佳伟创、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳等国内厂商已形成初步竞争格局。从技术路线看,钙钛矿电池在玻璃基板上镀膜,立式设备相比晶硅路线常用的卧式设备更具前景,捷佳伟创、晟成光伏等均已实现相关立式设备的出货或量产。

立式与卧式:钙钛矿为何倾向立式设备

晶硅路线倾向于采用水平式(卧式)设备,因为硅片薄片化趋势下,立式工艺难以固定过薄的硅片;而钙钛矿是在玻璃上镀膜,若玻璃尺寸变大,放入水平式设备容易发生自然形变,立式设备则可自下而上镀膜。因此,捷佳伟创的产品线中,晶硅路线大体为水平式设备,钙钛矿方向则布局了两款立式设备,作为面向未来的技术储备。

从价值量看,PVD(含RPD)设备约占钙钛矿全产业链设备价值的40%,是价值占比最高的环节。除钙钛矿层本身外,从玻璃基底到两个传输层再到电极,钙钛矿电池的多个环节都会用到PVD设备。

核心厂商布局与出货进展

已公告有钙钛矿用镀膜设备的主要供应商中,各厂商的技术侧重有所不同:

设备类型主要厂商
溅射镀 PVD捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳
RPD捷佳伟创
蒸镀 PVD加拿大 Angstrom Engineering(进口)、京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源
ALD荷兰 SMIT(进口)、湖南红太阳

具体进展上,捷佳伟创完成了立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)的量产线出货,该设备通过厂内验收并已发运客户投入生产,填补了国产设备空白;京山轻机旗下晟成光伏完成了蒸镀PVD(卧式&立式)的出货,其钙钛矿电池团簇型多腔式蒸馏设备已量产并应用于多个客户端,同时申请了集成RPD和PVD的镀膜设备专利;湖南红太阳完成了溅射镀PVD及ALD的出货

竞争焦点与尚未定型之处

当前钙钛矿镀膜设备领域的竞争焦点,集中在设备形态(立式/卧式)的选择、不同镀膜工艺路线(溅射/RPD/蒸镀/ALD)的适配性,以及设备厂商与组件企业的协同绑定上。值得注意的是,钙钛矿产业化仍处于早期阶段,组件尺寸、工艺路线尚未完全收敛,设备格局也远未定型。各厂商的出货信息可通过相关企业公开渠道验证,后续技术迭代与量产验证仍将持续重塑竞争位次。

常见问题

钙钛矿镀膜设备中,PECVD和PVD是什么关系?

PECVD(等离子体增强化学气相沉积)与PVD(物理气相沉积)都属于气相沉积法设备,在钙钛矿电池的玻璃基底制备等环节均有应用。资料显示,PVD(含RPD)设备价值约占全产业链设备价值的40%,是价值量最高的设备环节。

为什么钙钛矿更倾向用立式设备而非卧式设备?

钙钛矿在玻璃上镀膜,大尺寸玻璃放入水平式设备容易发生自然形变,而立式设备可以自下而上镀膜,更适合未来大尺寸化趋势。相比之下,晶硅路线因硅片薄片化更倾向卧式设备,两类设备的市场区隔由此形成。

哪些厂商已在钙钛矿镀膜设备领域实现出货?

已公告完成出货的厂商包括:捷佳伟创(立式RPD量产线出货)、京山轻机旗下晟成光伏(蒸镀PVD卧式&立式出货、团簇型多腔式蒸馏设备量产)、湖南红太阳(溅射镀PVD及ALD出货)。此外,众能光电、合肥欣奕华等厂商也在溅射或蒸镀PVD方向有所布局。