钙钛矿立式镀膜设备的进口依赖局面正在被实质性打破,国产替代已从“单点突破”进入“多厂商出货验证”阶段。在钙钛矿电池的核心镀膜环节,捷佳伟创已完成立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)的量产线出货并通过厂内验收,填补了国产设备在这一领域的空白;京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳等厂商也分别完成了蒸镀PVD、溅射镀PVD及ALD设备的出货,国产设备阵营已覆盖钙钛矿镀膜的主要技术路线。

进口依赖的环节与国产化现状

钙钛矿电池生产中,除钙钛矿层外,几乎所有功能膜层(导电层、传输层、电极等)都涉及PVD类镀膜设备,其价值量约占全产业链设备的40%,是设备国产化的主战场。从设备类型看,不同环节的国产化进度并不一致:

设备类型主要国产厂商进口替代进度
溅射镀 PVD捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳已实现出货
RPD(反应式等离子体镀膜)捷佳伟创立式 RPD 已量产出货,填补国产空白
蒸镀 PVD京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源已出货,与进口厂商并存
ALD湖南红太阳已出货

值得注意的是,蒸镀PVD和ALD环节仍有加拿大、荷兰等海外厂商参与供货,说明部分高端镀膜设备仍存在进口依赖,但国产替代的版图正在快速扩展。

国产立式设备的突破:捷佳伟创 RPD

在钙钛矿镀膜设备中,立式与卧式的路线选择是区分晶硅与钙钛矿工艺的关键。晶硅薄片化趋势下,水平(卧式)放置更利于固定硅片;而钙钛矿是在玻璃基板上镀膜,随着玻璃尺寸增大,水平放置容易发生自然形变,立式设备可实现自下而上镀膜,被认为是更适合大尺寸钙钛矿的未来方向。

在这一技术路线上,捷佳伟创的“立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)”已通过厂内验收并发运客户投入生产,官方表述为“填补国产设备空白”。京山轻机旗下的晟成光伏则完成了蒸镀PVD(卧式&立式)的出货,并申请了集成RPD和PVD的镀膜设备专利,其钙钛矿电池团簇型多腔式蒸馏设备已实现量产并应用于多个客户端。

国产替代的驱动与差距

国产立式镀膜设备加速导入,核心驱动来自钙钛矿产业化对设备定制化与降本的需求。相比晶硅成熟产线,钙钛矿技术路线仍在快速迭代,设备厂商需与电池厂商深度协同开发,国产设备在响应速度和定制灵活性上具备优势。此外,上海德沪在大面积钙钛矿涂布设备领域的突破(开发了全球首套用于大面积钙钛矿的涂布设备系统)也表明,国产设备在钙钛矿核心制程上已具备与国际厂商竞争的实力。

不过,国产立式镀膜设备在量产线上的长期稳定性、镀膜均匀性与良率数据仍需更多产线验证积累。尤其是在蒸镀PVD、ALD等环节,海外厂商仍占据一定份额,国产设备与进口设备在极限精度与批量一致性上的差距,需要后续更多量产数据与第三方实测来客观评估。

常见问题

钙钛矿立式镀膜设备目前哪些环节仍依赖进口?

蒸镀PVD和ALD环节仍可见海外厂商(如加拿大的Angstrom Engineering、荷兰的SMIT)参与供货,存在一定进口依赖。溅射镀PVD和RPD环节国产厂商已完成出货,替代进度相对领先。

国产立式RPD设备的突破意义是什么?

捷佳伟创完成的立式RPD量产线出货,填补了国产设备在该领域的空白。立式路线被认为更适合大尺寸钙钛矿玻璃基板的镀膜需求,这一突破为钙钛矿大面积产业化储备了关键装备能力。

国产设备与进口设备的主要差距在哪里?

差距主要体现在量产验证的深度上。国产设备在镀膜精度、稳定性和良率方面已具备产线导入能力,但长期运行的可靠性数据积累尚浅,与进口设备在极限工艺窗口下的表现对比,仍需以第三方实测和规模化量产数据为准。