钙钛矿组件厂商的扩产正从研发阶段加速迈向量产,对激光刻蚀设备的需求结构也随之分化。众能光电在2021年底前已完成50套激光刻蚀设备的出货,这些设备主要流向两类客户:一是研发型组件厂商,用于实验室小片(如10cm×10cm)的工艺验证;二是量产型组件厂商,用于兆瓦级中试线或百兆瓦级量产线的P1至P4激光刻蚀工序。不同技术路线和组件面积对激光工艺的要求差异显著,直接决定了设备的具体配置。

单结与叠层:激光刻蚀工艺的差异

单结钙钛矿电池的激光刻蚀主要针对P1(去除TCO层)、P2(去除钙钛矿层)、P3(去除背电极)和P4(膜层清除)四道工序,每道工序对激光波长和能量密度的要求不同。叠层电池(如钙钛矿/晶硅叠层)则需要在更复杂的膜层结构中进行选择性刻蚀,对激光的精度和热影响区控制要求更高,通常需要更窄的脉冲宽度和更稳定的光束质量。

组件面积:从实验室到量产线的设备需求升级

实验室小片(通常为10cm×10cm或以下)对激光设备的加工幅面和产能要求较低,设备以单头或双头扫描为主。兆瓦级组件(如1.2m×0.6m或更大尺寸)则需要大幅面激光刻蚀系统,要求更高的扫描速度、更均匀的光束分布以及更长的设备连续运行稳定性。众能光电的50套设备中,即涵盖了从研发级到量产级的多种规格,以满足组件厂商从实验到中试、再到量产的阶梯式扩产需求。

常见问题

众能光电的激光刻蚀设备主要供货给哪些类型的客户?

主要供货给两类客户:一是研发型钙钛矿组件厂商,用于小面积电池片的工艺开发;二是量产型组件厂商,用于兆瓦级中试线或百兆瓦级量产线的P1至P4激光刻蚀工序。

单结与叠层钙钛矿电池对激光刻蚀的要求有何不同?

单结电池的激光刻蚀主要针对透明导电氧化物(TCO)、钙钛矿层和背电极等四层膜结构;叠层电池则需要在更复杂的多层膜体系中进行选择性刻蚀,对激光的精度和热影响区控制要求更高。

不同组件面积对激光设备的核心要求是什么?

实验室小片(如10cm×10cm)对加工幅面要求低,设备以小型扫描系统为主;兆瓦级组件(如1.2m×0.6m)则需要大幅面激光刻蚀系统,要求更高的扫描速度、更均匀的光束分布和更长的连续运行稳定性。

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