钙钛矿蒸镀PVD设备的供应商可分为进口与国产两类:进口以加拿大 Angstrom Engineering 为代表,国产则包括京山轻机(旗下晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源。从各家进展看,捷佳伟创已完成 RPD(立式)量产线出货,京山轻机旗下晟成光伏已完成蒸镀 PVD(卧式与立式)出货,湖南红太阳已完成溅射镀 PVD 及 ALD 出货,众能光电则在镀膜、涂布、激光等多类钙钛矿装备上均有布局。

蒸镀PVD供应商的两条主线

钙钛矿电池除钙钛矿层外,其余环节几乎都会用到 PVD 设备,这也是 PVD(含 RPD)在整线价值量中占比较高的原因。按工艺路线划分,蒸镀 PVD 的供应商格局大致如下:

设备类型主要厂商
蒸镀 PVD进口:加拿大 Angstrom Engineering;国产:京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源
溅射镀 PVD国产:捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳
RPD国产:捷佳伟创
ALD进口:荷兰 SMIT;国产:湖南红太阳

值得注意的是设备形态的差异:晶硅路线更倾向卧式设备,而钙钛矿以玻璃为基底,未来采用立式设备的可能性更大,可自下而上镀膜。捷佳伟创在钙钛矿领域储备的正是立式设备。

主要厂商各自进展如何

京山轻机(晟成光伏):已完成蒸镀 PVD 的卧式与立式出货;此前申请了名为“一种集成 RPD 和 PVD 的镀膜设备”的专利,并发布消息称其钙钛矿电池团簇型多腔式蒸馏设备现已量产,成功应用于多个客户端。

捷佳伟创:其“立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)”通过厂内验收并发运客户投入生产,代表其钙钛矿新技术的关键量产设备,并已完成 RPD 立式量产线出货。

众能光电:开发了一系列钙钛矿光电器件装备,拥有近 20 项发明和实用新型专利,并通过 ISO9001 国际质量管理体系认证;产品线覆盖涂布刮涂一体机、激光刻蚀设备等,曾在较早时期完成 50 套刻蚀设备出货。

湖南红太阳:已完成溅射镀 PVD 以及 ALD 的出货。

常见问题

钙钛矿蒸镀PVD设备有哪些国产供应商?

国产蒸镀 PVD 供应商包括京山轻机(旗下晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华和德竹芯源;进口方面则以加拿大 Angstrom Engineering 为代表。不同厂商在卧式、立式等设备形态上的侧重点各有不同。

京山轻机在钙钛矿蒸镀PVD上的进展如何?

京山轻机主要通过旗下晟成光伏开展相关业务,已完成蒸镀 PVD 的卧式与立式出货,并申请了集成 RPD 和 PVD 的镀膜设备专利,其团簇型多腔式蒸馏设备已实现量产并应用于多个客户端。

捷佳伟创在钙钛矿镀膜设备上的进展如何?

捷佳伟创已完成 RPD(立式)量产线出货,其立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)已通过厂内验收并发运客户投入生产。此外,公司也是溅射镀 PVD 的国产供应商之一。