钙钛矿镀膜设备从实验室走向产线的关键拐点,集中在设备厂商介入与首台套交付两个阶段:早期以众能光电等企业开发钙钛矿光电器件装备、通过质量体系认证为起点,随后捷佳伟创、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳等陆续完成镀膜设备出货。湖南红太阳已完成溅射镀PVD及ALD出货,是国产厂商中同时具备这两种镀膜设备出货记录的企业,标志着镀膜环节进入工程化验证阶段。从价值量看,PVD(含RPD)约占钙钛矿设备金额的40%,是镀膜环节的重心。
镀膜设备为何是钙钛矿产线的价值重心
在钙钛矿电池片制造中,镀膜的重要性体现在两点:一是多环节使用,二是多种技术路线都会用到。从玻璃到电极,除钙钛矿层本身外,其余部分都会涉及PVD设备;玻璃若选择自制,则需要PECVD、PVD等气相沉积设备。正因为覆盖面广,PVD(含RPD)在设备金额中的占比约40%,明显高于涂布的约20%和激光的约10%。
技术路线上,晶硅与钙钛矿对PVD设备形态的偏好不同:晶硅倾向水平式(卧式),钙钛矿则更适合立式。原因在于钙钛矿在玻璃上镀膜,尺寸放大后卧式放置易发生自然形变,立式可自下而上镀膜。捷佳伟创的产品线中,晶硅路线大体为水平式,钙钛矿方向则布局了两台立式设备,属于面向未来的技术储备。
溅射镀PVD与ALD的产业化节奏
溅射镀PVD的国产参与者包括捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳;RPD方向有捷佳伟创;蒸镀PVD则有京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源等国产厂商,以及加拿大Angstrom Engineering等进口来源。ALD方面,进口以荷兰SMIT为代表,国产为湖南红太阳。
从进展节点看,众能光电开发了一系列钙钛矿光电器件装备;晟成光伏的团簇型多腔式蒸馏设备已量产并应用于多个客户端;捷佳伟创的立式反应式等离子体镀膜设备(RPD)通过厂内验收并发运客户。这些交付与验收动作,共同构成镀膜设备从实验室验证走向中试出货的拐点。ALD的国产出货记录目前集中在湖南红太阳,其同时具备溅射镀PVD出货,意味着两种镀膜工艺在国产设备端均已进入工程化验证。
常见问题
钙钛矿镀膜设备目前走到了哪个阶段?
从公开进展看,国产设备已从实验室验证进入中试出货与客户端应用阶段,多家厂商完成镀膜、涂布、激光设备的交付或验收,行业整体处于工程化验证期。
溅射镀PVD和ALD分别有哪些国产厂商?
溅射镀PVD的国产厂商包括捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)和湖南红太阳;ALD的国产厂商为湖南红太阳。两者在国产化程度上存在差异,ALD可查的国产出货记录相对集中。
为什么钙钛矿更倾向立式PVD设备?
钙钛矿以玻璃为基底,尺寸放大后卧式放置容易形变,立式设备可自下而上镀膜,更适合大尺寸玻璃的镀膜需求;晶硅则因薄片化趋势更适用卧式。