在钙钛矿电池PVD设备产业链中,国产供应商已按工艺环节形成初步分工:溅射镀PVD环节有捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳;RPD环节目前仅捷佳伟创实现量产线出货;蒸镀PVD环节包括京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源,进口设备来自加拿大Angstrom Engineering;ALD环节国产仅湖南红太阳,进口为荷兰SMIT。 从价值量看,PVD(含RPD)约占钙钛矿设备整体的40%,是镀膜环节中占比最高的部分。

为什么PVD在钙钛矿中环节多、路线特殊

PVD价值量大,原因在于两点:多环节使用、多种技术路线都会用到。就钙钛矿而言,从玻璃到电极都会涉及PVD——玻璃若自产需用气相沉积法设备(典型如PECVD与PVD),两个传输层及电极同样需要。除钙钛矿层本身外,其余部分都会涉及PVD设备。

技术路线上,晶硅与钙钛矿的侧重点不同:晶硅更倾向水平式(卧式)设备,因为硅片薄片化趋势下立式难以固定;钙钛矿在玻璃上镀膜,未来玻璃尺寸变大后卧式易发生自然形变,立式可自下而上镀膜,因此钙钛矿未来采用立式的可能性更大。

各环节供应商分工一览

镀膜环节主要厂商
溅射镀PVD国产:捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳
RPD国产:捷佳伟创
蒸镀PVD进口:加拿大Angstrom Engineering;国产:京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源
ALD进口:荷兰SMIT;国产:湖南红太阳

从已披露进展看,捷佳伟创完成了RPD(立式)的量产线出货;京山轻机主要通过旗下晟成光伏完成蒸镀PVD(卧式与立式)出货;湖南红太阳完成了溅射镀PVD以及ALD的出货。此外,晟成光伏曾申请名为“一种集成RPD和PVD的镀膜设备”的专利,并发布其钙钛矿电池团簇型多腔式蒸馏设备已量产、成功应用于多个客户端的消息。

设备与电池厂的协同关系

镀膜设备处于钙钛矿组件产线的中游,向上承接玻璃、靶材等原料与真空系统等核心部件,向下服务电池与组件厂商的整线建设。设备厂商通常与电池厂在工艺验证阶段深度绑定:设备需按客户的膜层结构、玻璃尺寸与产线节拍做定制,客户则依据量产数据反馈推动设备迭代。这种协同也决定了各环节的国产化节奏并不一致——溅射镀PVD与蒸镀PVD已有较多国产厂商完成出货,RPD与ALD环节的国产参与者相对集中。

常见问题

钙钛矿PVD设备中,哪些环节国产供应商最多?

溅射镀PVD环节国产厂商相对集中,包括捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)与湖南红太阳;蒸镀PVD环节国产厂商也有四家。相比之下,RPD环节目前仅捷佳伟创实现量产线出货,ALD环节国产仅湖南红太阳。

钙钛矿为什么更适合立式PVD设备?

钙钛矿是在玻璃上镀膜,随着玻璃尺寸变大,放入水平式设备容易发生自然形变;立式设备可以自下而上镀膜,因此钙钛矿未来采用立式的可能性更大。晶硅则因硅片薄片化更适合卧式。

进口设备在哪些环节仍占一席之地?

蒸镀PVD环节的进口设备来自加拿大Angstrom Engineering,ALD环节的进口设备来自荷兰SMIT。这两个环节的国产替代参与者相对较少,具体产线验证与量产进度需以各厂商后续公开信息及第三方实测为准。