钙钛矿镀膜设备(PVD/ALD)的国产替代已覆盖溅射镀、RPD、蒸镀、ALD等多个环节,但不同环节的国产化程度并不均衡:溅射镀PVD与RPD已由国产厂商主导出货,蒸镀PVD和ALD则仍存在进口供应,国产厂商正在同步切入。卧式与立式并非简单的优劣之争,而是适配不同基底的选择——晶硅路线更适合卧式,钙钛矿以玻璃为基底、未来向大尺寸演进,立式设备被视为面向未来的技术储备。

PVD为何是价值量最高的环节

在钙钛矿设备中,PVD(含RPD)、涂布、激光设备的价值占比分别约为40%、20%、10%。镀膜之所以权重最高,一是使用环节多,除钙钛矿层本身外,玻璃、传输层、电极等部分都会涉及PVD设备;二是技术路线覆盖面广,晶硅与钙钛矿都会用到。

卧式与立式:不是路线之争,而是基底之争

同样是PVD设备,晶硅与钙钛矿的侧重点不同。硅片薄片化是大势所趋,立式工艺下薄硅片难以固定,水平放置镀膜更有优势,因此晶硅路线大体采用卧式设备。钙钛矿则是在玻璃上镀膜,尺寸变大后放入水平式设备容易发生自然形变,立式设备可自下而上镀膜。相关厂商的立式设备布局,实际上是为未来储备技术。

国产替代卡在哪一环

镀膜设备进口供应国产供应
溅射镀PVD—捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳
RPD—捷佳伟创
蒸镀PVD加拿大 Angstrom Engineering京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源
ALD荷兰 SMIT湖南红太阳

从出货进展看,捷佳伟创已完成RPD(立式)量产线出货;京山轻机通过旗下晟成光伏完成蒸镀PVD(卧式&立式)出货;湖南红太阳完成溅射镀PVD及ALD出货。可见溅射镀与RPD环节国产厂商已具备量产供应能力,蒸镀PVD与ALD环节则呈现进口与国产并存的格局。

常见问题

钙钛矿PVD设备为什么倾向立式而非卧式?

钙钛矿以玻璃为基底,尺寸放大后水平放置容易发生自然形变,立式设备可自下而上镀膜,更适合大尺寸玻璃。晶硅因薄片化趋势,反而更适合卧式。两者是适配关系,而非替代关系。

目前哪些钙钛矿镀膜环节仍依赖进口?

蒸镀PVD环节有加拿大 Angstrom Engineering 供货,ALD环节有荷兰 SMIT 供货,同时国产厂商京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源、湖南红太阳等已在相应环节布局,国产替代正在推进中。

立式设备对自主可控意味着什么?

立式设备目前更多是面向钙钛矿大尺寸化的未来技术储备。提前在该方向完成设备开发与出货验证,有助于在钙钛矿产能扩张时减少对进口设备的依赖,是自主可控的重要一环。