钙钛矿电池的电子传输层、空穴传输层需要PVD设备制备,其中RPD(反应等离子体沉积)属于相对新颖的一类PVD工艺,其技术来源为日本住友的独家技术,现已授权给捷佳伟创。从设备需求结构看,传输层镀膜、TCO玻璃与电极层制备均会用到PVD技术,因此RPD对应的下游场景主要集中在钙钛矿组件产线的传输层、TCO玻璃及电极层环节,并随钙钛矿及叠层电池产线建设节奏释放需求。

RPD在钙钛矿制程中的位置

钙钛矿在膜的层面主要分为三层:电子传输层、钙钛矿层、空穴传输层。其中钙钛矿层由涂布或印刷设备完成,而上下两个功能层——即电子传输层与空穴传输层——则要用到PVD设备。

PVD从工艺上主要分为三种,前两种(蒸镀、磁控溅射镀)较为成熟,第三种即RPD。RPD原本是日本住友的独家技术,现授权给捷佳伟创,这也是其钙钛矿设备布局中常被提及的部分。

下游应用场景与需求结构

传输层镀膜是RPD最直接的应用环节。钙钛矿组件产线的工序依次为FTO玻璃清洗、空穴传输层、钙钛矿层、电子传输层,随后进入激光划刻与封装,传输层的成膜质量直接影响组件性能。

TCO玻璃与电极层是PVD技术的延伸场景。除上下两个传输层外,制作TCO玻璃以及电极层时同样要用到PVD技术,这意味着RPD的潜在应用并不局限于传输层本身。

从设备属性看,涂布、PVD两类设备与面板行业的TFT制程关联度较高,不少钙钛矿设备公司此前即为面板行业设备供应商,RPD亦延续了这一产业脉络。单GW设备投资额中PVD的具体占比,官方尚未公布统一口径,需以各产线实际配置为准。

应用场景所用设备类型说明
电子传输层PVD钙钛矿三层膜结构中的功能层
空穴传输层PVD同上,与电子传输层分列钙钛矿层两侧
TCO玻璃PVD除传输层外的PVD应用环节
电极层PVD除传输层外的PVD应用环节

常见问题

RPD与蒸镀、磁控溅射镀是什么关系?

三者同属PVD(物理气相沉积)技术,原理一致,区别在于具体工艺路线。蒸镀与磁控溅射镀较为成熟,RPD相对新颖,原为日本住友独家技术并已授权给捷佳伟创。

钙钛矿组件产线中哪些环节会用到RPD?

RPD作为PVD的一种,对应的是需要镀膜的环节,包括电子传输层、空穴传输层,以及TCO玻璃和电极层的制备。钙钛矿层本身则由涂布或印刷设备完成,不使用PVD。

叠层电池是否会带来RPD的额外需求?

叠层电池属于钙钛矿的重要新场景,其产线同样需要传输层等镀膜环节,理论上会带动PVD设备需求。但具体增量规模与产线建设节奏相关,需结合后续公开的产线规划与设备招标信息判断。