硅片薄片化让立式PVD难以固定，钙钛矿为何反而选择立式镀膜技术路线？

硅片薄片化让立式PVD难以固定，钙钛矿为何反而选择立式镀膜技术路线？核心原因在于材料形态与物理特性的根本差异：晶硅追求薄片化，薄片在立式设备中难以固定，因此更适合水平放置镀膜；而钙钛矿镀在玻璃基板上，大尺寸玻璃在水平式设备中容易发生自然形变，立式设备反而能规避这一问题，实现自下而上的镀膜。

立式与卧式：两种技术路线的分野

同样是PVD（物理气相沉积）设备，晶硅和钙钛矿的侧重点截然不同。晶硅路线更倾向于水平式（卧式）设备，因为硅片薄片化是大势所趋，采用立式工艺时，太薄的硅片难以固定，水平放置镀膜更有优势。

钙钛矿则相反。钙钛矿是在玻璃上镀膜，目前以小尺寸为主，但如果玻璃尺寸变大，把大玻璃放进水平式设备中，很容易发生自然形变。而立式设备可以实现自下而上的镀膜，有效规避重力带来的形变问题。这正是钙钛矿技术路线选择立式镀膜的核心逻辑。

从产业链价值量来看，PVD（含RPD）设备在钙钛矿全产业链中价值占比约40%，是价值量最高的环节。PVD设备在钙钛矿生产中应用广泛——从玻璃基底到两个传输层、再到电极都会用到，除钙钛矿层本身外，钙钛矿电池的其余部分都会涉及PVD设备。

设备厂商已围绕这一技术路线展开布局。捷佳伟创的钙钛矿产线中就有两个立式设备，是为未来技术储备所做的准备；其“立式反应式等离子体镀膜设备（RPD）”已通过厂内验收并填补国产设备空白。京山轻机旗下晟成光伏完成了蒸镀PVD（卧式和立式）的出货，湖南红太阳则完成了溅射镀PVD以及ALD的出货。

不是。钙钛矿电池中，除钙钛矿层外，玻璃基底、传输层、电极等环节都会涉及PVD设备。钙钛矿层本身通常采用狭缝涂布等溶液法工艺完成。

立式镀膜通过自下而上的方式规避大玻璃在水平放置时的自然形变，有助于保障大尺寸基板上的镀膜均匀性。目前钙钛矿组件仍以小尺寸为主，立式设备更多是为未来大尺寸玻璃的量产需求做技术储备。

根据公开信息，捷佳伟创完成了RPD（立式）的量产线出货，京山轻机（晟成光伏）完成了蒸镀PVD（卧式和立式）的出货，湖南红太阳完成了溅射镀PVD及ALD的出货。此外，众能光电、合肥欣奕华等厂商也在溅射镀或蒸镀PVD领域有所布局。