国产光引发剂环节已取得阶段性突破,国产龙头久日新材的产品在国内市占率已接近三成,但半导体材料自主可控的拼图远未完整——价值量占比约50%的成膜树脂和约35%的单体仍高度依赖进口,才是当前最薄弱的环节。光引发剂虽已突围,但成膜树脂与单体的国产化才是决定光刻胶自主可控能否闭环的关键。

光引发剂:率先突破的环节

光引发剂是光刻胶的核心组分之一,含量虽仅占1%-6%,但负责在特定波长光照下引发光化学反应,改变成膜树脂在显影液中的溶解度。在这一环节,国产厂商已建立起较强的市场地位。以久日新材为代表的国产龙头,其产品在国内市场的占有率已接近三成,成为光刻胶原材料中少数实现规模化国产替代的品类。

不过,光引发剂的突破只是自主可控链条上的单点进展。从价值量角度看,它远非光刻胶原材料中最核心的部分。

成膜树脂与单体:真正的短板

光刻胶原材料中,成膜树脂才是价值量最大的核心材料,约占总材料成本的50%,其次是占比约35%的单体,其他材料合计占比约15%。部分高端光刻胶中树脂占比更高,例如ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。

与光引发剂的进展形成鲜明对比的是,各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断。即便是相对低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂,国内仍主要依赖进口,国产化水平很低,而高端ArF树脂更是难以采购。成膜树脂的产业化难点集中在两方面:一是合成技术的Know-how积累,目前主流的自由基聚合虽易产业化但分散度控制受限,阴离子聚合性能更优但工业化条件苛刻,仅有信越化学、JSR等少数公司实现良好产业化;二是单体的稳定供应,单体纯度需达到99.5%、金属离子含量需小于十亿分之一,目前全球能满足要求的单体供应商仅有四五家。

单体的参照:徐州博康的进展

在单体领域,徐州博康是市场公认布局较深的国产厂商。该公司从化学定制合成起步,是多家日本光刻胶头部企业的中国合作商,如今已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体,其中ArF单体覆盖率达80%以上,部分单体为独家产品。在外销方面,除信越化学外,其他头部光刻胶厂商均为其客户;在自用方面,公司已打通除单体以外的其他原材料,实现了自主可控。

徐州博康的进展说明单体环节已具备突破的路径参照,但整体而言,成膜树脂和单体仍是中国半导体光刻胶原材料自主可控链条上最需要补齐的拼图。光引发剂的成功证明国产替代可以走通,而树脂与单体的攻坚,将决定这一链条能否真正闭环。

常见问题

光引发剂国产化率接近三成,是否意味着光刻胶原材料已实现自主可控?

远未实现。光引发剂虽已取得近三成市占率的突破,但它在光刻胶原材料中价值量占比有限。真正决定光刻胶性能的成膜树脂(价值量约50%)和单体(约35%)仍高度依赖进口,这两大环节才是自主可控的核心短板。

成膜树脂国产化的主要难点是什么?

难点集中在两方面:一是合成技术,主流的自由基聚合虽易产业化但分散度控制受限,性能更优的阴离子聚合工业化条件苛刻,仅有少数海外公司掌握;二是单体稳定供应,单体纯度和金属离子含量要求极高,全球合格供应商仅四五家,且质量需保持批次一致。

单体领域有哪些国产突破值得关注?

徐州博康是单体领域布局最深的国产厂商,其ArF单体覆盖率已达80%以上,部分为独家产品,客户覆盖除信越化学外的头部光刻胶厂商,并已打通除单体外的其他原材料。这一进展为单体环节的国产替代提供了可参照的路径。