日本企业在光刻胶成膜树脂的阴离子聚合技术领域占据绝对主导地位,中国在全球半导体材料竞争中整体处于追赶阶段,尤其是在高端光刻胶及核心原材料成膜树脂方面,仍高度依赖进口。
日本企业的技术壁垒
成膜树脂是光刻胶中价值量最高的原材料,约占总材料成本的50%。目前,已实现产业化的树脂合成技术主要有两种:自由基聚合和阴离子聚合。阴离子聚合技术能够更好地控制树脂的分散度(PDI),使光刻胶在更精细的尺寸上实现更优的光刻效果,但工业化条件苛刻。目前,仅有信越化学、JSR等少数日本公司在这一技术上产业化成功。相比之下,中国在成膜树脂的合成技术积累上仍较为薄弱,高端ArF树脂甚至面临“想买都买不到”的局面。
中国的追赶与突破
尽管整体处于追赶地位,中国在光刻胶原材料领域已取得从零到一的突破。在成膜树脂的上游——单体供应方面,以徐州博康为代表的国内企业已具备较强竞争力。徐州博康拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体,其中ArF单体覆盖了80%以上,部分为独家产品。在光刻胶成品领域,以徐州博康、晶瑞电材为代表的国产厂商也已实现突破,即将进入从一到N的快车道。
常见问题
中国在哪些光刻胶原材料上实现了自主可控?
在溶剂、光引发剂等价值量占比不高的原材料领域,国内企业已取得较好进展。例如,溶剂的主要成分PMA(丙二醇甲醚醋酸酯),国内产能占全球总产量的35%;光引发剂方面,国产龙头久日新材的产品在国内市占率已接近三成。在最重要的成膜树脂领域,国内企业已有布局,但整体仍高度依赖进口。
中国在光刻胶单体方面有哪些优势?
中国在光刻胶单体领域已具备显著优势。市场普遍认为徐州博康做的最好,该公司从化学定制合成起步,是多家日本头部光刻胶企业的中国合作商。目前,除了信越化学外,其他头部光刻胶厂商均为博康的客户。博康已打通除单体以外的其他原材料,真正实现了自主可控。
中国光刻胶产业未来的发展路径是什么?
国产光刻胶的发展路径主要包括三个方面:一是继续在KrF和ArF等主流光刻胶领域实现国产替代;二是在上游原材料环节,特别是成膜树脂的合成技术上实现突破;三是通过积累树脂合成的Know-how经验,以及保障单体的稳定供应,逐步实现全产业链的自主可控。