光刻胶产业链真正的“卡点”不在光刻胶成品本身，而在更上游的成膜树脂环节。成膜树脂是光刻胶中价值量最大的原材料，约占总材料成本的50%，但各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断——即便是较低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂，我国也主要依赖进口，国产化水平很低；高端一些的ArF树脂则“想买都买不到”。因此，树脂环节是光刻胶自主可控绕不开的一环。

上游：单体与树脂合成，难在Know-how

成膜树脂是一种高分子聚合物，可简单理解为由多种单体共聚而成，其结构设计涉及单体的种类和比例，会直接决定光刻胶能形成的线宽，进而影响曝光能量、边缘粗糙度等参数。

产业化难点集中在两方面：

  • 合成技术：树脂合成主要分为自由基聚合、阴离子聚合和活性自由基聚合，目前最常用的是自由基聚合，活性自由基聚合尚未实现工业化。自由基聚合容易控制分子量、容易产业化，但分散度（PDI）难以控制得很小，导致无法达到某些光刻性能（如LWR）；阴离子聚合可控制PDI、LWR更优，但工业化条件苛刻，只有少数公司在产业化上做得很好。此外，企业还须在生产管理和质量控制上严格把关，保证每批光刻胶质量一致，背后是对合成Know-how的经验积累。
  • 单体稳定供应：单体是合成树脂的核心原料，性能要求很高，如纯度要达到99.5%、金属离子含量要小于10亿分之一。目前能做到稳定供应的单体供应商只有四五家。

中游与下游：配方与晶圆制造承压

中游光刻胶成品由感光树脂、溶剂和添加剂按特定配方与工序配制而成，在光刻中均匀涂覆于硅片，曝光部分溶解度发生改变，为后续刻蚀或薄膜沉积做铺垫。由于高端光刻胶定制化程度高，控制了原材料，成品厂商才能更快响应下游需求、开发合适配方并抢占市场。

值得注意的是，并非所有原材料都薄弱。溶剂主要成分PMA（丙二醇甲醚醋酸酯），国内产能占全球总产量的35%；光引发剂方面，国产龙头久日新材产品在国内市占率已接近三成。真正薄弱的是树脂及其上游单体。

常见问题

光刻胶成膜树脂为什么是产业链最关键的一环？

因为它是价值量最大的原材料，约占总材料成本的50%，且直接决定曝光后光刻胶的基本性能。高端光刻胶中树脂占比更高，例如ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。

国内在光刻胶原材料上有布局吗？

已有较多国内公司布局溶剂、单体、树脂、光引发剂等环节。其中单体领域市场普遍认为做得最好的是徐州博康，拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体，ArF单体共200多种、覆盖80%以上，部分为独家产品；据公司负责人透露，除信越化学外，其他头部光刻胶厂商都是其客户。

成膜树脂国产化的主要难点是什么？

一是树脂合成的Know-how积累，尤其是活性自由基聚合尚未工业化；二是单体的稳定供应，高纯度、低金属离子单体的合格供应商目前只有四五家。