半导体光刻胶成膜树脂的海外垄断，是随曝光波长缩短、技术门槛逐级抬升而一步步固化下来的。按曝光光源划分，半导体光刻胶主要分为G线、I线、KrF、干法ArF、浸没式ArF和EUV六大类，对应的成膜树脂也从G线环化橡胶、I线线性酚醛树脂，迭代到KrF、ArF树脂。每一次技术迭代都提高了合成技术与单体供应的门槛，而Know-how经验与稳定单体供应恰恰集中在少数海外厂商手中，垄断格局由此逐步形成。 目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断，即使是较低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂，我国也主要依赖进口，国产化水平很低，而高端一些的ArF树脂想买都买不到。

一、技术迭代如何逐级抬高门槛

光刻胶需要与曝光光线发生反应，因此其体系与光刻机的曝光波长相互匹配。从G线到EUV，波长不断缩短，对成膜树脂的要求也层层加码。成膜树脂是一种高分子聚合物，可简单理解为由多种单体共聚而成，树脂结构设计涉及单体的种类和比例，会直接决定光刻胶能够形成的线宽，进而影响曝光能量和边缘粗糙度等参数。这意味着，越往高端走，树脂配方与合成工艺的容错空间越小，后来者需要跨越的技术台阶越高。

二、垄断为何难以被打破

树脂产业化的难点集中在两方面：合成技术与单体供应。

合成技术方面，树脂合成主要分为自由基聚合、阴离子聚合和活性自由基聚合，目前最常用的是自由基聚合，活性自由基聚合尚未实现工业化。自由基聚合容易控制树脂分子量、容易产业化，但分散度难以控制得很小，导致无法达到某些光刻性能；阴离子聚合可以控制分散度，使光刻胶在更精细尺寸上更好地实现光刻效果，但工业化条件比较苛刻，只有少数公司在产业化上做得很好。此外，生产企业还须在生产管理和质量控制上严格把关，保证每批光刻胶质量一致，树脂合成的背后更多是企业对合成Know-how经验的理解和积累。

单体供应方面，单体是成膜树脂的核心原料，性能要求很高，纯度要达到99.5%，金属离子含量要小于10亿分之一。成膜树脂产业化不仅要求单体供应稳定，也要求单体质量稳定，而目前能够实现这一点的单体供应商只有四五家。技术经验与原料供应双重集中，使海外厂商在每一轮迭代中持续占据先发位置。

三、价值量最高、国产化最薄弱的一环

从原材料结构看，成膜树脂是价值量最大的部分，约占材料总成本的50%，其次是占比35%的单体，其他材料合计占比15%；一些高端光刻胶的树脂占比更高，比如ArF光刻胶的树脂，价值量占比可达97%以上。价值量高、技术门槛高、供应集中，三者叠加，使成膜树脂成为光刻胶自主可控绕不开的环节。目前国内已有多家公司布局光刻胶原材料，覆盖溶剂、单体、树脂、光引发剂等环节；其中在单体领域，徐州博康已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体，ArF单体覆盖80%以上，并打通了除单体以外的其他原材料。

常见问题

光刻胶成膜树脂的垄断是一步形成的吗？

不是。它是伴随曝光波长从G线、I线向KrF、ArF、EUV逐级缩短，在技术门槛不断抬升的过程中逐步形成的。每一代树脂对合成工艺和单体质量的要求都更高，而掌握Know-how经验与稳定单体供应的厂商数量有限，垄断因此层层加固。

为什么低端树脂我国也主要依赖进口？

即使是较低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂，我国也主要依赖进口，国产化水平很低。这说明差距不只在最高端环节，树脂合成的经验积累和单体稳定供应是贯穿各代产品的共性难点。

国内企业目前在哪些环节已有布局？

国内已有多家公司布局光刻胶原材料，涵盖溶剂、单体、树脂、光引发剂等环节。单体领域以徐州博康为代表，已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体，ArF单体覆盖80%以上，并打通了除单体以外的其他原材料；成膜树脂整体仍是国产化最薄弱的部分。