成膜树脂是光刻胶中价值量最大的原材料,约占材料总成本的50%,而高端ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。其市场增长的核心动力,来自KrF与ArF这两类最主要光刻胶的需求扩张——它们对应12英寸先进制程,先进制程扩产直接拉动高端树脂的用量与价值量。

价值结构:树脂是成本重心

光刻胶原材料主要包括溶剂、光引发剂、成膜树脂和添加剂。从含量看,溶剂占比最高;但从价值量看,成膜树脂才是最核心的部分。

原材料价值量占比
成膜树脂约50%
单体约35%
其他材料约15%

其中高端光刻胶的树脂占比更高,ArF光刻胶的树脂价值量占比可达97%以上。这意味着,光刻胶向高端演进的过程,本身就是树脂价值量放大的过程。

需求引擎:KrF与ArF对应先进制程

光刻胶体系与曝光光源相匹配,分为G线、I线、KrF、ArF、浸没式ArF、EUV等类别。从应用看,KrF胶主要用于3D堆叠架构,ArF胶主要用于相对先进的制程工艺,二者是最主要的两类光刻胶。KrF适用于8、12英寸,ArF及浸没式ArF则对应12英寸产线。

因此,先进制程扩产带来的是对KrF与ArF胶的持续需求,而树脂作为其成本重心,市场规模随之扩张。同时,成膜树脂的结构设计涉及单体种类和比例,直接决定光刻胶能形成的线宽,并影响曝光能量、边缘粗糙度等参数——这也是高端树脂难以替代的原因。

供给约束:国产化仍是薄弱环节

目前各类光刻胶所需树脂几乎全部由海外垄断,即使较低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂,也主要依赖进口;高端的ArF树脂则面临采购困难。

产业化难点集中在两方面:一是合成技术的Know-how积累,二是单体的稳定供应。单体纯度要求高、金属离子含量控制严格,能够稳定供应的单体厂商数量有限。国内已有彤程新材、圣泉集团、强力新材等企业布局树脂环节,徐州博康则从单体开发起步,已打通除单体以外的其他原材料。

常见问题

成膜树脂在光刻胶中占多少成本?

成膜树脂约占总材料成本的50%,是价值量最大的原材料;单体约占35%,其他材料合计约15%。在ArF等高端光刻胶中,树脂的价值量占比可达97%以上。

为什么KrF和ArF光刻胶的增长能带动树脂市场?

KrF主要用于3D堆叠架构,ArF主要用于相对先进的制程工艺,二者是最主要的两类光刻胶,且均对应12英寸产线。先进制程扩产直接增加这两类光刻胶的用量,而树脂是其成本重心,需求随之放大。

成膜树脂产业化的主要难点是什么?

主要在于两方面:树脂合成的Know-how经验积累,以及单体的稳定供应。单体性能直接影响光刻胶质量,对纯度和金属离子含量要求严格,能够稳定供应的厂商数量有限。