抛光液磨粒占原材料成本五到七成,是CMP抛光液最核心的组分。在半导体材料产业链中,磨粒环节上游连接二氧化硅等基础原料的制备,下游对接抛光液厂商(如安集科技),最终服务于晶圆制造的化学机械抛光工艺。目前磨粒核心技术仍被海外巨头垄断,国内虽有新安纳具备生产能力,但产品线较少,国产化替代仍有较大空间。
磨粒在CMP抛光液中的核心地位
CMP(化学机械抛光)是半导体制造中仅次于光刻、刻蚀和薄膜沉积的第四大制造工艺,作用是对晶圆进行全局平坦化处理。抛光液和抛光垫是CMP的两大关键材料,价值量占比分别为49%和33%。
在抛光液的复杂成分中——包括氧化剂、磨粒、络合剂、表面活性剂、缓蚀剂、pH调节剂等——磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的50%-70%。磨粒通过机械方法去除抛光工件表面多余材料,目前最常用的是二氧化硅。生产的关键壁垒在于控制磨粒的硬度和形状,确保所有磨粒的硬度和形状基本一致,以保障最终产品的一致性和可靠性。
磨粒环节的产业链上下游关系
从产业链位置看,磨粒环节处于中间位置:
- 上游:二氧化硅等基础原料的制备,磨粒的生产工艺决定了其硬度和形状的均一性,这是抛光液性能的核心保障
- 中游:磨粒本身的生产制造,目前核心技术被海外巨头垄断
- 下游:抛光液厂商,如安集科技,将磨粒与其他组分按配方配制,形成最终产品供应给晶圆厂
在国产化方面,国内新安纳具备磨粒生产能力,但产品线较少。以国内抛光液龙头安集科技为例,其磨粒目前主要采购自日本厂商。安集科技正通过自建材料基地,研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,以提升自主可控能力。
常见问题
磨粒占抛光液原材料成本的比例是多少?
磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的50%-70%。其生产难点在于控制磨粒的硬度和形状,保障产品的一致性和可靠性。
国内磨粒国产化进展如何?
国内新安纳具备磨粒生产能力,但产品线较少。安集科技作为国内抛光液龙头,磨粒主要采购自日本厂商,同时正在自建材料基地研发高端磨粒,以推进关键原材料的自主可控。
磨粒环节的竞争格局如何?
目前磨粒核心技术仍被海外巨头垄断。相比抛光液和抛光垫整机环节,磨粒作为上游关键原材料,国产化进程相对滞后,是产业链中亟待突破的环节之一。