抛光液中的磨粒约占原材料成本的50-70%,是决定抛光效果的核心组分。目前最常用的磨粒为二氧化硅,其核心壁垒在于粒径分布与硬度一致性——所有磨粒的硬度和形状必须高度一致,才能保障最终产品的一致性和可靠性。这一技术仍被海外巨头垄断,国内代表性厂商安集科技的磨粒主要采购自日本厂商,成为国产化突破的关键瓶颈。

磨粒制备的核心难点

磨粒的技术壁垒主要体现在两方面。一是粒径分布控制:磨粒尺寸需均匀分布在极窄范围内,任何偏差都会导致晶圆表面划伤或抛光效率下降。二是硬度均匀性:磨粒的微观硬度必须一致,否则会破坏抛光过程的稳定性和重复性。这些工艺需要长时间的技术积累和Know-how经验,海外巨头(如日本JSR、美国Cabot)通过专利和长期研发形成了牢固的护城河。

国内厂商的追赶现状

在抛光液领域,安集科技是国内领先的厂商,其产品已获得大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电的供应商。然而,在磨粒这一核心原材料上,安集仍依赖日本进口。相比之下,抛光液其他组分的国产化进展较快,添加剂、氧化剂等已逐步实现自主供应,但磨粒环节的卡脖子地位依然突出。国内虽有新安纳等企业具备生产能力,但产品线较少,难以满足全品类需求。

常见问题

磨粒占抛光液成本的比例是多少?

磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的50-70%。

国内哪家厂商在抛光液领域最具代表性?

安集科技是国内抛光液领域的代表性企业,产品覆盖七大类抛光液,并已进入台积电供应链,但磨粒仍主要从日本采购。

国产磨粒与国际水平的主要差距在哪?

核心差距在于粒径分布和硬度一致性的控制精度。海外巨头通过长期研发积累了专利和工艺Know-how,而国内企业在这一领域的量产经验和产品线丰富度仍有待提升。

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