半导体材料抛光液按应用领域可分为七大类,其中铜及铜阻挡层抛光液主要用于逻辑、存储芯片的铜及阻挡层去除和平坦化,钨抛光液则主要用于存储芯片中钨塞和钨通孔的平坦化(逻辑芯片仅部分工艺段使用)。铜抛光液市场由美国厂商主导,钨抛光液市场同样以美系龙头为核心,而国内厂商中,安集科技是七大类抛光液布局最完整、且已进入台积电供应链的代表性企业。
铜抛光液与钨抛光液的市场格局
从全球抛光液整体竞争格局看,市场长期由美企主导,杜邦公司和卡博特微电子占据了绝大多数市场份额,部分细分产品在日韩也难以找到替代品。铜抛光液与钨抛光液作为其中两大品类,龙头地位同样集中在具备深厚技术积累和配方 Know-how 的美系厂商手中。
| 品类 | 主要应用 | 市场主导方 |
|---|---|---|
| 铜及铜阻挡层抛光液 | 逻辑、存储芯片的铜及阻挡层去除和平坦化 | 美系厂商(杜邦、卡博特微电子等) |
| 钨抛光液 | 存储芯片钨塞/钨通孔平坦化;逻辑芯片部分工艺段 | 美系厂商(杜邦、卡博特微电子等) |
国内企业的卡位与突破
国内抛光液企业中,安集科技是布局最完整的一家。公司自成立起便定位全产品解决方案(total solution),在七大类抛光液中,产品要么已量产数年,要么刚上线,要么处于研发论证阶段。其主力产品不仅获得大陆晶圆厂高度认可,还成功进入台积电供应链,成为其供应商。
在原料端,磨粒是抛光液最核心组分,占原材料成本约50%—70%,核心技术仍被海外巨头垄断。安集科技一方面采购国内新安纳的产品,另一方面自建材料基地,用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,逐步推进自主可控。
常见问题
铜抛光液和钨抛光液哪个用量更大?
两者应用场景不同:铜抛光液在逻辑、存储芯片生产中均需大量使用,钨抛光液则主要用于存储芯片,逻辑芯片只在部分工艺段使用。具体用量取决于晶圆厂的芯片类型和工艺路线。
国内厂商在铜与钨抛光液领域的竞争地位如何?
安集科技是国产抛光液的代表性企业,产品覆盖七大类,且已进入台积电供应链,具备较强的技术积累。但磨粒等核心原材料仍部分依赖进口,高端市场的整体份额仍以美系厂商为主导。
抛光液国产化的主要难点是什么?
难点主要有两方面:一是控制磨粒的硬度和形状,保障产品一致性和可靠性;二是组分配比高度定制化,不同客户需求不同,需要长期积累配方 Know-how。这两点都依赖长时间的技术积累和持续研发投入。