抛光液已形成七类产品体系,但各品类的供需节奏并不同步。成熟制程所需的硅抛光液与晶圆厂扩产节奏基本同步,而针对先进制程的铜阻挡层、钴抛光液等品类,其需求爆发往往滞后于产能建设。
品类差异源于工艺世代不同
抛光液根据应用领域分为七大类,包括硅抛光液、铜及铜阻挡层抛光液、钨抛光液、钴抛光液、层间介质层抛光液、浅槽隔离层抛光液和3D封装硅通孔抛光液。各品类所服务的芯片工艺世代差异巨大,直接导致了供需节奏的分化。
硅抛光液主要用于硅晶圆的初步加工,属于成熟制程的通用材料,其需求随晶圆厂整体产能扩张而同步增长,供需节奏较为一致。
先进制程驱动品类存在时间差
铜及铜阻挡层抛光液在逻辑和存储芯片生产中需大量使用,而钴抛光液则专门用于10nm节点以下芯片中钴的去除和平坦化。这类先进制程专用品的产能建设周期较长,且下游晶圆厂的先进制程产线从建成到满产通常需要1-2年时间,因此其需求爆发往往比产能投放存在显著滞后。
钨抛光液也类似,存储芯片需大量使用,但逻辑芯片只用于部分工艺段,供需节奏取决于特定存储产线的投产节奏。
常见问题
七类抛光液分别对应哪些工艺节点?
硅抛光液用于硅晶圆初步加工;铜及铜阻挡层抛光液用于逻辑和存储芯片;钨抛光液用于钨塞和钨通孔平坦化(存储芯片大量使用);钴抛光液用于10nm节点以下芯片;层间介质层抛光液用于ILD和IMD的去除;浅槽隔离层抛光液用于STI抛光;3D封装硅通孔抛光液用于TSV抛光。
哪种抛光液的需求增速最快?
钴抛光液专用于10nm节点以下的先进制程,随着芯片制程向更小节点演进,其需求增长潜力较大,但具体增速取决于先进制程晶圆厂的投产节奏和良率爬坡情况。
抛光液的供需周期如何影响晶圆厂采购?
晶圆厂通常会提前1-2年与抛光液供应商进行产品验证和认证,尤其是针对先进制程的专用品。因此,抛光液厂商的产能建设需要与晶圆厂的扩产计划紧密配合,以确保在客户量产时能及时供货。