聚氨酯抛光垫的孔洞结构规整程度是制约国内CMP抛光垫发展的核心壁垒,而CMP抛光垫在CMP材料成本中占比33%,是仅次于抛光液(49%)的第二大核心材料。

聚氨酯孔洞技术:决定价值的核心壁垒

CMP抛光垫的核心难点在于聚氨酯的孔洞结构规整程度。抛光垫是一种微孔结构材料,这些孔洞的规整程度直接决定了抛光效率,是衡量抛光垫质量的核心指标之一。目前,这部分生产专利主要掌握在海外巨头手中,他们通过合作避免了重复开发和同质竞争,形成了较强的利益关系网。对于国内厂商而言,突破技术壁垒、生产出具备微细而均匀孔洞结构的抛光垫,是实现国产化的关键。

CMP抛光垫的价值分配格局

从CMP材料成本构成来看,抛光垫价值量占比为33%,抛光液为49%,两者合计超过80%。在全球抛光垫市场中,美国杜邦占据约79%的份额,市场高度集中。国内方面,鼎龙股份是目前唯一实现抛光垫产品量产的厂商,其硬垫产品已覆盖28nm以上全部制程,并在存储芯片领域部分产品效率突出,有效降低用户成本。随着技术突破,价值分配存在向国产厂商转移的可能路径。

常见问题

为什么聚氨酯孔洞技术这么重要?

聚氨酯抛光垫的微孔结构决定了其容纳抛光液的能力和抛光效率。孔洞规整度越高,抛光效果越稳定、效率越高,这是衡量抛光垫质量的核心指标,也是海外厂商长期保持高市场份额的技术护城河。

国内厂商在抛光垫领域进展如何?

鼎龙股份是国内唯一实现抛光垫量产的厂商,其硬垫产品已覆盖28nm以上全部制程,并实现了核心原材料的自产化。在软垫产线投产后,公司将具备全系列和全制程的抛光垫生产能力。

抛光垫的价值在产业链中如何分配?

抛光垫占CMP材料成本33%,是第二大核心材料。目前市场由美国杜邦主导(约79%份额),但随着国内厂商突破聚氨酯孔洞技术壁垒并实现量产,未来价值分配有望向国产厂商转移。

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