功率器件从硅基向碳化硅(SiC)演进,核心拐点在于材料物理层面的“宽禁带”特性。SiC 的禁带宽度为 3.2eV,远高于硅的 1.12eV,这使电子与空穴被激发后的复合率大大降低,更多载流子可用于导电或传热,同时关断过程不存在电流拖尾现象,开关频率得以提升。这一物理拐点,是 SiC 无需依赖结构设计进步、即可突破硅基材料原有功率与频率极限的根本原因。
从硅基迭代到材料极限
上世纪四五十年代,以硅(Si)和锗(Ge)为代表的第一代半导体材料奠定了微电子产业的基础。经过几十年发展,硅材料的制备与工艺日臻完美,但 Si 基器件的设计和开发经过多次迭代和优化后,正在逐渐接近硅材料的极限,性能继续提升的潜力愈来愈小。尤其现代电子技术对半导体材料提出了高温、高功率、高压、高频以及抗辐射等新要求,以 SiC 为代表的第三代半导体材料关注度随之迅速提升。SiC 拥有较宽的禁带宽度、较高的饱和电子漂移速率、较强的抗辐射导热能力,做成的器件具有高温、高压、高频、高速的优良特性。
宽禁带带来的性能拐点
更宽的禁带意味着导带与价带之间的能量差更大,电子与空穴被激发后的复合率大大降低,最终有更多电子和空穴可用于导电或传热——这正是第三代半导体材料具有更强导热性与导电能力的原因。同时,宽禁带还使损耗电流远小于硅基,从而降低功率损耗;由于关断过程中不存在电流拖尾现象,还会提升开关频率。对比同规格器件,SiC 与硅基材料在关键参数上存在明显差异:
| 性能指标 | Si | SiC |
|---|---|---|
| 禁带宽度 (eV) | 1.12 | 3.2 |
| 绝缘击穿场强 (MV/cm) | 0.3 | 2.2 |
| 热导率 (W/cm K) | 1.5 | 4.5 |
| 漂移饱和速度 (10⁷cm/s) | 1 | 2 |
资料来源:《宽禁带半导体高频及微波功率器件与电路》,赵正平著,海通国际
结构创新:混合型 SiC 的过渡节点
SiC 最大的缺点是成本较高,最主要来自衬底环节——衬底里的晶体成长速度慢,且良率相对较低,而衬底成本占到全产业链的一半左右。针对这一问题,日本罗姆(ROHM)半导体提出了混合型模块的思路:主体器件芯片仍是硅基 IGBT,仅将续流二极管(FRD)换作 SiC,即 IGBT+SiC SBD 结构。这一设计可大幅降低器件功率损耗,同时由于没有全盘采用 SiC,成本上升部分可控。至此,SiC 的发展脉络从材料物理拐点、性能拐点,延伸到以混合结构平衡性能与成本的阶段性节点。
常见问题
SiC 属于第几代半导体?
SiC 属于第三代半导体,与氮化镓(GaN)同代。两者虽同属第三代,但一个高频率、一个大功率,并不是直接竞争关系;大功率场景与 IGBT 联系更紧密,因此 SiC 常被专门拿来与 IGBT 并列。
宽禁带为什么能降低电子空穴复合率?
禁带宽度越大,导带与价带之间的能量差越大,电子与空穴被激发后的复合率就大大降低。最终结果是更多电子和空穴可以用于导电或传热,这也是 SiC 具有更强导热性与导电能力的原因。
混合型 SiC 的结构是什么?
混合型 SiC 的结构主体仍是 IGBT,芯片仍为硅基,只是把其中的续流二极管(FRD)换作 SiC,即 IGBT+SiC SBD。MOSFET 由于本身就有体二极管,不需要这样的架构。