在溅射PVD这一细分赛道，国产化率约20%，而应用材料占据约85%的份额。半导体设备厂商的价值分配并非集中在整机，而是围绕"1个平台（TM）+多个反应腔（PM）“的结构展开：价值量随反应腔数量增加而累积，核心工艺腔体与关键零部件是价值分布的密集区。对国产厂商而言，在约20%的国产化率下，能否在与上游核心零部件供应商、下游晶圆厂的博弈中守住这条价值链，直接决定其商业模式的可持续性。

价值分配的物理基础：平台加腔体的结构

薄膜沉积设备的价值构成，首先由硬件结构决定。每台薄膜沉积设备由1个平台（TM）和多个反应腔（PM）组成，单台设备的价值量与腔体数量直接相关。平台承担晶圆传输与真空环境维持，是共性部分；反应腔则对应具体沉积工艺，是差异化与价值集中的环节。

这一结构带来两个结果：一是设备报价往往随配置腔体数量变化，而非单一固定值；二是厂商的收入确认节奏被拉长。从生产完成并发货，到客户验收完成销售之间，存在一定时长的验收周期，使得产量大于销量，产销率因此低于100%。这意味着设备厂商的现金流与利润确认，并不与出货同步，而是滞后于下游晶圆厂的验证进度。

三方之间的价值流动

在薄膜沉积设备的产业链上，价值在三类主体之间分配：

  • 设备整机厂：负责平台与腔体的系统集成、工艺配方开发与客户验证，是价值链的组织者。以溅射PVD为优势方向的北方华创，其PVD产品对下游的议价能力较强，这在国产设备中较为少见。
  • 核心零部件供应商：腔体内部的真空、射频、气体控制等部件是价值密集区。整机厂对上游的采购成本，直接压缩其毛利空间。
  • 下游晶圆厂：通过招标采购与验收周期掌握节奏主动权，其国产化意愿与验证进度，决定国产设备厂商能否把中标转化为收入。

从公开招标数据看，长江存储的薄膜设备采购中，北方华创在溅射PVD细分设备的占比可以达到20%左右；华虹无锡、华力集成等产线的薄膜设备国产化率总体在10%左右。这些数字反映的是机台数量口径下的替代进度，而非价值量口径。

国产化率约20%下的商业模式含义

约20%的国产化率，意味着国产溅射PVD设备已跨过"从0到1"的验证阶段，但尚未进入规模替代。这一阶段的价值分配有两个特征：

其一，议价能力向上游和下游两端分散。整机厂在国产设备中具备较强议价能力的案例并不多，北方华创在溅射PVD上的表现属于少数。对多数厂商而言，核心零部件的采购成本与下游的验收周期，共同挤压其利润空间。

其二，收入确认的滞后性放大了经营波动。产销率低于100%并非需求不足，而是验收周期所致。在国产化率仍处低位的阶段，这种滞后会放大设备厂商的现金流压力，也使其商业模式更依赖持续的中标与验收节奏。

常见问题

溅射PVD设备的价值为什么和反应腔数量有关？

每台薄膜沉积设备由1个平台（TM）和多个反应腔（PM）组成，平台是共性传输与真空部分，反应腔对应具体沉积工艺。单台设备的价值量随腔体数量增加而累积，因此报价与配置直接挂钩。

国产设备产销率低于100%说明什么？

主要与验收周期有关。产品从生产完成并发货，到客户验收完成销售之间存在一定时长，使得产量大于销量。这反映的是收入确认节奏，而非需求端的直接信号。

约20%的国产化率下，设备厂商的议价能力如何？

分化明显。在溅射PVD这一优势方向，北方华创的PVD产品对下游议价能力较强，这在国产设备中较为罕见；而多数环节的国产厂商仍需同时面对上游核心零部件成本与下游验收周期的双重约束。