从长江存储历年薄膜设备采购中标数据看，国产溅射PVD经历了一条“零星中标—份额爬升—稳定在约20%”的爬坡曲线。按机台数量计算，北方华创在长江存储溅射PVD采购中的占比已达到约20%左右，是薄膜沉积领域国产化率最高的细分方向；同期CVD类设备的国产供应商主要是沈阳拓荆，总占比约2-3%。 在逻辑代工侧，华虹无锡与华力集成的薄膜设备国产化率整体更高，北方华创在华虹无锡的占比从2%提升至7%，在华力集成从0%提升至10%。这条曲线说明：国产PVD并非一步到位，而是在存储与逻辑两条产线的持续验证中逐级抬升。

一、起步：从单台验证开始

溅射PVD属于物理气相沉积的一类，与蒸镀PVD并列。在薄膜沉积设备的细分结构中，溅射PVD占比约19%，仅次于PECVD的33%，是单一品类中体量靠前的重要赛道。

从长江存储的中标记录看，北方华创的薄膜设备中标数量为：2018年2台、2019年1台、2020年4台。数量虽小，但意义在于“进得去”——在由国际巨头主导的PVD赛道中，国产设备先以少量机台完成产线验证，为后续放量积累工艺数据与信任基础。

二、爬坡：采购放量与份额抬升

长江存储的PVD采购本身波动明显：2017年6台、2018年2台、2019年14台、2020年13台、2021年2台。采购节奏的起伏，反映的是产线建设与扩产的阶段性特征。

关键在于国产份额的变化。按机台数量口径，北方华创在长江存储的薄膜设备国产化率从2018年的2%、2019年的1%，提升至2020年的4%；而在溅射PVD这一细分方向，其占比已达到约20%左右。同期沈阳拓荆在CVD方向的占比约为2-3%。两条路线对比可见：国产替代并非齐头并进，PVD是率先跑出来的方向。

产线厂商早期占比后期占比
长江存储北方华创（溅射PVD）2018年2%2020年4%（PVD细分约20%）
华虹无锡北方华创2019年2%2020年7%
华力集成北方华创2018年0%2020年10%

三、拐点：从存储到逻辑的横向扩散

华虹无锡与华力集成的数据，勾勒出国产薄膜设备的另一条爬坡路径。华虹无锡北方华创占比由2019年2%升至2020年7%；华力集成则由2018年的0%，经2019年维持0%，到2020年跃升至10%。这类“从零到两位数”的跳变，往往对应某类设备通过验证后进入批量采购的节点。

北方华创在PVD方向的优势，与其产品布局相关：其PVD产品可覆盖90-14nm多个制程工艺，应用于集成电路与功率半导体等领域。工艺覆盖面的拓宽，是国产设备能够跨产线、跨客户复制的技术前提。

常见问题

溅射PVD国产化率约20%是怎么算出来的？

该比例来自长江存储薄膜设备中标数据的机台数量口径：在溅射PVD这一细分设备中，北方华创的中标占比达到约20%左右。这一数字是细分品类的国产采购占比，而非全部薄膜沉积设备的整体国产化率。

为什么PVD的国产化率明显高于CVD？

从长江存储数据看，北方华创在溅射PVD的占比约20%，而CVD类设备的国产供应商沈阳拓荆总占比约2-3%。北方华创在PVD、CVD、ALD三大方向均有布局，其中PVD是其优势方向，主要产品即溅射PVD，工艺覆盖90-14nm。

华虹无锡和华力集成的国产化率说明什么？

两家逻辑代工厂的薄膜设备国产化率整体在10%左右，高于长江存储的同期水平。北方华创在华虹无锡的占比从2019年2%提升至2020年7%，在华力集成从0%提升至10%，说明国产薄膜设备已在存储与逻辑两类产线上同时获得验证与重复采购。