国产SAW用4寸晶圆已实现规模化量产，而BAW滤波器制造所需的核心PVD设备仍高度依赖进口，射频前端压电材料的国产替代正处于“SAW快速突破、BAW攻坚起步”的关键阶段。
SAW滤波器：压电晶圆与滤波器国产化已形成规模
SAW（表面声波）滤波器主要采用铌酸锂（LiNbO₃）或钽酸锂（LiTaO₃）单晶晶圆，4寸晶圆是当前主流衬底。国内已有多家厂商具备SAW滤波器量产能力，其中德清华莹（信维通信参股）和好达电子是代表性企业。
- 德清华莹已能量产普通SAW和TC-SAW（温度补偿型SAW），2020年产能达1亿-2亿颗/月，I.H.P SAW（高性能SAW）也已小批量生产。
- 好达电子同样具备普通SAW和TC-SAW量产能力，2021年产能约每月2亿颗。其产品部分关键性能指标已对标国际领先厂商——例如Band 40接收滤波器插入损耗（IL max）为2.2dB，与村田的2.3dB相当。
- 从市场份额看，好达电子SAW滤波器全球市占率从2018年的0.35%提升至2020年的0.92%，呈现逐年增长态势。
此外，卓胜微自建SAW滤波器产线，已进入规模化量产阶段；麦捷科技与中电26所合作的SAW产品也已进入华为、TCL等客户。
BAW滤波器：压电薄膜设备与材料仍是核心瓶颈
BAW（体声波）滤波器以6寸硅晶圆为主，其关键工艺在于利用PVD（物理气相沉积）或CVD（化学气相沉积）设备制作压电薄膜，核心材料为氮化铝（AlN）。与SAW不同，BAW滤波器由海外厂商主导——Avago（博通）市占率56%，Qorvo市占率38%，两者合计超90%，且专利封锁极为严密，尤其是FBAR型BAW，短期突破难度大。
国内布局BAW的厂商包括天津诺思、武汉敏芯（与东方银星合作）等，但因专利限制，目前进展较慢，仅处于样品或小规模出货阶段。PVD/CVD设备及高纯AlN靶材的国产化，是BAW滤波器实现自主生产必须突破的环节。
常见问题
国产SAW晶圆和滤波器与国际水平的差距主要在哪？
在普通SAW和TC-SAW层面，国内产品关键性能指标（如插入损耗、尺寸）已接近国际领先水平，部分指标持平。主要差距体现在高端产品（如I.H.P SAW）的成熟度、产品一致性、以及大规模量产后的良率控制上。国内厂商市占率仍较低（好达电子2020年仅0.92%），品牌验证周期较长。
BAW滤波器国产化的最大难点是什么？
BAW滤波器的专利壁垒极强，尤其是FBAR结构，海外厂商已将核心专利全面覆盖，国内厂商难以绕过。此外，BAW制造依赖PVD/CVD设备制备高质量的氮化铝（AlN）压电薄膜，这部分高端设备目前仍以进口为主，国产替代尚处于早期阶段。
国内BAW滤波器厂商目前进展如何？
天津诺思、武汉敏芯等厂商在积极布局BAW产品，但受限于专利壁垒和设备依赖，目前主要处于样品或小规模出货阶段，尚未实现大规模量产。相比SAW滤波器，BAW的国产替代仍需较长的技术积累和产业链协同。