射频前端从SAW到BAW的压电材料迭代，经历了SAW滤波器商业化、AlN薄膜沉积工艺突破、以及FBAR技术成熟量产等关键技术拐点。SAW滤波器在1970年代商业化，早期采用铌酸锂（LiNbO₃）等压电材料，适用于1GHz以下频段，成本低但热稳定性差、高频性能下降。BAW滤波器在1990年代后因氮化铝（AlN）薄膜沉积工艺的突破而实现工业化，其声波垂直传播，工作频率可达1.5GHz-6GHz，插入损耗更低、温度稳定性更好，成为4G/5G高频段的首选。关键转折是FBAR（薄膜体声波滤波器）技术的成熟与量产，由Avago（博通）和Qorvo主导，分别拥有56%和38%的BAW市场份额，推动了BAW在5G Sub-6GHz频段的快速渗透。
SAW滤波器的早期商业化与局限
SAW滤波器采用石英晶体、铌酸锂等压电材料，通过压电效应和表面波传播实现频率筛选。在1GHz以下频段，SAW滤波器具备成本优势，可低成本大批量生产。但其工作原理决定了频率越高，叉指换能器（IDT）间距越小，导致1GHz以上频段性能下降，且热稳定性较差。后来村田开发了具有温度补偿特性的TC-SAW滤波器和高性能I.H.P SAW滤波器，其中I.H.P SAW工作频率可达3.5GHz，部分替代了BAW的应用。
BAW技术的突破与AlN薄膜工艺
BAW滤波器由两个金属电极夹着压电薄膜组成，声波以垂直方向传播，工作频率范围1.5GHz-6GHz，最高可达10GHz以上。其关键工艺环节是采用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制作，材料主要为氮化铝（AlN）和氧化锌（ZnO）。BAW滤波器具有高Q值（>2,000）、低插入损耗（0.8-1.5dB）、耐高功率等优势，尺寸随频率升高而缩小。根据声波反射结构不同，BAW可细分为BAW-SMR（固体装配型）和FBAR（薄膜体声波滤波器）两类，其中SMR散热性优于FBAR。
常见问题
为什么5G时代BAW滤波器成为首选？
5G Sub-6GHz频段（450MHz-6GHz）拥有更大带宽和更高频率，BAW滤波器因其高Q值、低插入损耗、对温度变化不敏感等特性，成为首选方案。同时5G手机需向下兼容3G/4G频段，SAW和BAW仍是行业主要看点。
国内厂商在BAW滤波器领域的进展如何？
国内BAW滤波器发展相对缓慢，主要因为美国厂商Avago和Qorvo在BAW领域（尤其是FBAR）拥有强大的专利封锁，短期难以突破。武汉敏芯、天津诺思等厂商在积极布局，但仅有样品或小规模出货。
SAW与BAW滤波器在成本上有何差异？
SAW滤波器成本较低（资料显示低于0.1-0.5美金），采用4寸晶圆为主；BAW滤波器成本较高（资料显示高于1美金），采用6寸晶圆为主，工艺复杂，成品率较低。